《自律就变帅！高冷校花绷不住了！》 第536章 他们要造的，是国产EUV光刻机！

陈知远没有急着说话。



他把几张图来回看了一遍，又翻到后面的测量记录。



周启山也没有催。



这是一次正式的技术讨论，不是让年轻人现场表演的地方。



过了片刻，陈知远忽然问：“这些误差，是按什么方式对齐的？”



控制组的负责人看向他。



“设备时间戳统一过，采样时钟也检查过，这个方向我们排查过。”



“我不是说时间戳有问题。”



陈知远把其中两条曲线放大。



“我的意思是，记录在同一时刻的数据，代表的未必是同一时刻的物理状态。”



几个人抬起了头。



陈知远继续道：“光学系统受到热负荷变化以后，形变不是立刻完成的，它有响应过程，工作台的补偿却是按另一套测量和控制节拍执行。”



“如果分别看，两边都能解释。”



“但要是光学状态还在响应前一次变化，工作台这边已经开始补偿下一次误差呢？”



会议桌对面，一名研究员下意识坐直了些。



陈知远指着屏幕上的偏移曲线。



“有没有可能，不是某一个子系统始终不达标，而是两套补偿在某些工况下叠到了一起？”



他说完，会议室安静了一瞬。



耦合问题，专家们不是没研究过。只是过去的联合分析，主要还是按统一时间戳比较。



而陈知远说的是另一回事：同一个时间点，未必对应同一个物理状态。



控制组负责人皱起眉。



“热响应滞后我们考虑过，单纯调整一段延迟，解释不了全部误差。”



“我同意。”陈知远点头，“固定延迟肯定不够，热负荷不同、运行阶段不同，响应也会变，我的意思不是给所有数据统一往后挪几秒。”



他伸手指向屏幕。



“先把光学系统的历史热负荷、实际测量变化、工作台补偿指令，以及最后的曝光偏移放到一起。”



“别只对齐时间，试着对齐它们真正生效的过程。”



“如果关系存在，就应该能在已经做过的实验里找出来。”



周启山坐直身体，问：“你是想先用历史记录建立一个动态关联模型？”



“对。”



“然后呢？”



“挑几组工况不同的数据验证。”陈知远说道，“如果能解释过去那些看着随机的偏移，再考虑调整补偿策略，要是解释不了，直接排除这个方向。”



周启山看了他一会儿，“你有多大把握？”



陈知远笑了笑。



“现在说百分之多少没什么意义，不过，既然数据都已经有了，何必先花时间拆设备？”



旁边几位专家交换了个眼神。



原定安排里，光学组准备启动新一轮标定，甚至需要停

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