《自律就变帅!高冷校花绷不住了!》 第536章 他们要造的,是国产EUV光刻机!
机。
如果他的判断成立,这笔时间完全可能省下来。
周启山转头看向顾明远。
“顾所长,你之前说他很擅长从多组数据里找关键问题,我现在有点明白了。”
顾明远笑而不语。
说实话,这一幕他已经不是第一次见了。
周启山又看向控制组负责人。
“老梁,下午那轮重复排查,能不能往后调整半天?”
老梁想了想:“非紧急部分可以。设备那边我来协调。”
“那就先做数据回放。”
周启山直接定了下来。
“光学、计量、控制三个组,各出一个熟悉原始记录的人,陈知远需要的数据,在本次任务授权范围内给他开只读权限。”
他顿了顿。
“先看一个典型批次,今天能不能把这条线索弄清楚。”
没人提出异议。
十几分钟前,陈知远才刚加入专项。
现在,项目组的一项既定安排已经因为他改变了。
下午三点多。
另一间工作室里,几台显示器并排亮着。
老梁亲自带人调出了原始记录。
“先说明白,这些数据我们不是没分析过。”他把椅子往旁边一拉,“你要是真能看出新的东西,我第一个服。”
“那就先别急着服。”
陈知远坐了下来,随手接过鼠标。
“麻烦把这一段之前的热负荷变化也调出来。”
“往前多少?”
“先把整个测试阶段都放进来。”
屏幕上的曲线重新排列。
一条是光学系统的状态变化,一条是工作台补偿指令,还有一条,是最终测得的曝光位置偏移。
乍看之下,依旧乱得没有规律。
陈知远盯着屏幕,目光一点点扫过。
那些分散的数据在他脑海中迅速串联。
【真理之眼】让他从纷杂的记录里,抓住了最值得验证的那条线索。
“这里。”
他忽然指向一处波峰。
“把前面的热负荷变化和后面的实际偏移,按照刚才那个响应过程重新拟合。”
老梁依言操作。
几秒后,两条原本看着没什么关系的曲线,开始在几个关键变化点上呈现出相近的趋势。
老梁愣了一下。
“等等。”
他把图放大,又核对了一遍数据来源。
“这段偏移……好像真能对应上。”
旁边的计量组研究员凑了过来。
“只是一个批次,说明不了
如果他的判断成立,这笔时间完全可能省下来。
周启山转头看向顾明远。
“顾所长,你之前说他很擅长从多组数据里找关键问题,我现在有点明白了。”
顾明远笑而不语。
说实话,这一幕他已经不是第一次见了。
周启山又看向控制组负责人。
“老梁,下午那轮重复排查,能不能往后调整半天?”
老梁想了想:“非紧急部分可以。设备那边我来协调。”
“那就先做数据回放。”
周启山直接定了下来。
“光学、计量、控制三个组,各出一个熟悉原始记录的人,陈知远需要的数据,在本次任务授权范围内给他开只读权限。”
他顿了顿。
“先看一个典型批次,今天能不能把这条线索弄清楚。”
没人提出异议。
十几分钟前,陈知远才刚加入专项。
现在,项目组的一项既定安排已经因为他改变了。
下午三点多。
另一间工作室里,几台显示器并排亮着。
老梁亲自带人调出了原始记录。
“先说明白,这些数据我们不是没分析过。”他把椅子往旁边一拉,“你要是真能看出新的东西,我第一个服。”
“那就先别急着服。”
陈知远坐了下来,随手接过鼠标。
“麻烦把这一段之前的热负荷变化也调出来。”
“往前多少?”
“先把整个测试阶段都放进来。”
屏幕上的曲线重新排列。
一条是光学系统的状态变化,一条是工作台补偿指令,还有一条,是最终测得的曝光位置偏移。
乍看之下,依旧乱得没有规律。
陈知远盯着屏幕,目光一点点扫过。
那些分散的数据在他脑海中迅速串联。
【真理之眼】让他从纷杂的记录里,抓住了最值得验证的那条线索。
“这里。”
他忽然指向一处波峰。
“把前面的热负荷变化和后面的实际偏移,按照刚才那个响应过程重新拟合。”
老梁依言操作。
几秒后,两条原本看着没什么关系的曲线,开始在几个关键变化点上呈现出相近的趋势。
老梁愣了一下。
“等等。”
他把图放大,又核对了一遍数据来源。
“这段偏移……好像真能对应上。”
旁边的计量组研究员凑了过来。
“只是一个批次,说明不了
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