反射镜基材的超精密加工和复杂多层镀膜的难题，犹如两座必须翻越的冰山。
苏定平深深明白，即便龙心实验室掌握了核心工艺，也没有必要也没有能力为这一个环节单独建立一条大规模的生产线。
这太奢侈了！
拿著那份凝结了无数心血的离子束抛光新图纸和ALD工艺手册，以及几块刚刚在龙心试制线用新工艺做出来的、性能优异的试验片，苏定平带著技术转让意向书，亲自找上了龙夏部落负责光学元件顶尖研发的927研究所。
所长郑玉，一个头发花白、眼神却锐利如鹰的老研究员，亲自在研究所门口迎接。
他知道苏定平现在在做的事情，更清楚龙心实验室目前顶著多大的压力。
会议室内，苏定平没有客套，直接将图纸和样品推了过去。
「郑所长，龙心实验室在EUV光刻机反射镜的超精密抛光和多层膜沉积上取得了一些突破，这是工艺图纸和试验样品的数据报告。」
郑玉一开始神情凝重。
他知道EUV反射镜的要求有多变态。接过图纸，戴上老花镜，他只是看了第一页核心工艺原理的总述部份，拿著图纸的手就猛地一抖！眼神陡然锐利得像探照灯，死死盯著图纸上「离子束原子级刻蚀」、「动态补偿模型」的字眼和结构图。
紧接著，目光又落在旁边那份薄薄的ALD工艺优化纲要上。
「温度场梯度驱动原子吸附」、「分子级脉冲阀门时序控制」……他的呼吸陡然变得粗重起来！
「这……这图纸……」
郑玉猛地抬起头，眼神直勾勾盯著苏定平，声音带著激动和难以置信的颤抖。
「苏总工！你们……你们这是怎么搞出来的？这思路……这工艺！完全是颠覆性的！跟我们研究所几十年在光机研磨抛光的老路根本不是一个概念！还有这ALD工艺的改进点，简直神了！」
他放下图纸，几乎是抢也似的抓过旁边那几块小小的试验镜片，对著光仔细查看那光滑如无物般的表面。
「你们抛光的面型精度……」
「实测RMS误差0.078nm，首批试验片全部在这个数值区间。」
苏定平沉声道。
郑玉倒吸一口冷气！
他又扑到一旁的检测仪器前，不顾身份地亲自操作，将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清晰无比的多层膜干涉条纹！薄膜的均匀性、层间的界限清晰度，都让郑玉的眼睛越瞪越大。
「老郑？」
旁边几位副所长看他半天不说话，著急地催促。
郑玉猛地站起身，转过身，脸上因为激动涨得通红，他用力拍著自己的大腿。
「好！好！太好了！苏总工！了不起！太了不起了！」
他几乎是吼出来的。
「这技术！
这精度！别说合格！
这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个ASM公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强！还要稳定！强一截！」
苏定平深深明白，即便龙心实验室掌握了核心工艺，也没有必要也没有能力为这一个环节单独建立一条大规模的生产线。
这太奢侈了！
拿著那份凝结了无数心血的离子束抛光新图纸和ALD工艺手册，以及几块刚刚在龙心试制线用新工艺做出来的、性能优异的试验片，苏定平带著技术转让意向书，亲自找上了龙夏部落负责光学元件顶尖研发的927研究所。
所长郑玉，一个头发花白、眼神却锐利如鹰的老研究员，亲自在研究所门口迎接。
他知道苏定平现在在做的事情，更清楚龙心实验室目前顶著多大的压力。
会议室内，苏定平没有客套，直接将图纸和样品推了过去。
「郑所长，龙心实验室在EUV光刻机反射镜的超精密抛光和多层膜沉积上取得了一些突破，这是工艺图纸和试验样品的数据报告。」
郑玉一开始神情凝重。
他知道EUV反射镜的要求有多变态。接过图纸，戴上老花镜，他只是看了第一页核心工艺原理的总述部份，拿著图纸的手就猛地一抖！眼神陡然锐利得像探照灯，死死盯著图纸上「离子束原子级刻蚀」、「动态补偿模型」的字眼和结构图。
紧接著，目光又落在旁边那份薄薄的ALD工艺优化纲要上。
「温度场梯度驱动原子吸附」、「分子级脉冲阀门时序控制」……他的呼吸陡然变得粗重起来！
「这……这图纸……」
郑玉猛地抬起头，眼神直勾勾盯著苏定平，声音带著激动和难以置信的颤抖。
「苏总工！你们……你们这是怎么搞出来的？这思路……这工艺！完全是颠覆性的！跟我们研究所几十年在光机研磨抛光的老路根本不是一个概念！还有这ALD工艺的改进点，简直神了！」
他放下图纸，几乎是抢也似的抓过旁边那几块小小的试验镜片，对著光仔细查看那光滑如无物般的表面。
「你们抛光的面型精度……」
「实测RMS误差0.078nm，首批试验片全部在这个数值区间。」
苏定平沉声道。
郑玉倒吸一口冷气！
他又扑到一旁的检测仪器前，不顾身份地亲自操作，将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清晰无比的多层膜干涉条纹！薄膜的均匀性、层间的界限清晰度，都让郑玉的眼睛越瞪越大。
「老郑？」
旁边几位副所长看他半天不说话，著急地催促。
郑玉猛地站起身，转过身，脸上因为激动涨得通红，他用力拍著自己的大腿。
「好！好！太好了！苏总工！了不起！太了不起了！」
他几乎是吼出来的。
「这技术！
这精度！别说合格！
这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个ASM公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强！还要稳定！强一截！」
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