他一把抓住苏定平的手,握得死紧。
「苏总工!
这份图纸和技术,我们927所,全力配合!我们有全国最好的光学冷加工基地,有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干!我敢立军令状!
就凭这张图,这份工艺,我们不但能给你稳定量产符合要求的EUV光刻机用反射镜,而且性能,绝对能压ASM一头!彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙!」
苏定平感受著手臂上传来的巨大力量,看著眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒,心中悬著的一块巨石终于落下一半。
「那就拜托郑所长了!时间紧!需要哪方面的协同实验,龙心团队全力配合!」
「没问题!」
郑玉拍著胸脯。
「你这份图纸和工艺一到,就是我们全所的冲锋号!」
几个月后,第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统,在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时,所有人看到那醒目的结论——「核心面型精度RMS误差。
≤0.08nm;薄膜层厚均匀度误差。
≤0.09nm;综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品」。
这一刻,没人欢呼雀跃,反而是一阵死一般的寂静。
袁涛看著报告上那令人眩晕的数据对比,嘴唇微微翕动了几下,最终只发出几个嘶哑的音节。
「成了……真他娘的……干成了!」
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上,硬生生被砸出了一个巨大的缺口!
苏定平重重地靠倒在椅背上,仰头看著天花板刺眼的日光灯。
连日来的疲惫如同潮水般涌上,伴随著巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核,正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开!
「终于……迈出了实质性的一大步。」
他闭上眼,轻声说道。
然而,短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里,硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前,目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
「定平。」
袁涛的声音透著前所未有的凝重。
「这两个台子,说白了,就是把那指甲盖大小的矽晶片和大尺寸掩模版,以纳米级的精度,在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。」
他抬起手,指尖指著面板上的技术指标,那数字触目惊心。
「移动速度要达到每秒数米以上!」
「移动精度要控制在小于3纳米以内!」
「这相当于在一万米外投篮球
「苏总工!
这份图纸和技术,我们927所,全力配合!我们有全国最好的光学冷加工基地,有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干!我敢立军令状!
就凭这张图,这份工艺,我们不但能给你稳定量产符合要求的EUV光刻机用反射镜,而且性能,绝对能压ASM一头!彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙!」
苏定平感受著手臂上传来的巨大力量,看著眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒,心中悬著的一块巨石终于落下一半。
「那就拜托郑所长了!时间紧!需要哪方面的协同实验,龙心团队全力配合!」
「没问题!」
郑玉拍著胸脯。
「你这份图纸和工艺一到,就是我们全所的冲锋号!」
几个月后,第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统,在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时,所有人看到那醒目的结论——「核心面型精度RMS误差。
≤0.08nm;薄膜层厚均匀度误差。
≤0.09nm;综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品」。
这一刻,没人欢呼雀跃,反而是一阵死一般的寂静。
袁涛看著报告上那令人眩晕的数据对比,嘴唇微微翕动了几下,最终只发出几个嘶哑的音节。
「成了……真他娘的……干成了!」
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上,硬生生被砸出了一个巨大的缺口!
苏定平重重地靠倒在椅背上,仰头看著天花板刺眼的日光灯。
连日来的疲惫如同潮水般涌上,伴随著巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核,正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开!
「终于……迈出了实质性的一大步。」
他闭上眼,轻声说道。
然而,短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里,硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前,目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
「定平。」
袁涛的声音透著前所未有的凝重。
「这两个台子,说白了,就是把那指甲盖大小的矽晶片和大尺寸掩模版,以纳米级的精度,在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。」
他抬起手,指尖指著面板上的技术指标,那数字触目惊心。
「移动速度要达到每秒数米以上!」
「移动精度要控制在小于3纳米以内!」
「这相当于在一万米外投篮球
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