对准的次数,每一次对准都会引入微小的误差,累积起来,会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差,关键尺寸偏差飙升……”



“总体来说,双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸,但良品率和成本都不太容易控制,产能也就不可能提上去,至于四重曝光……”



吴明翰脸部肌肉抽动了一下:“理论性能几乎可以对标EUV,不过大概率连一片产品都流不出来。”



常浩南静静地听着,脸上没有任何惊讶或失望的表情,仿佛早已预料到这个答案。



他对吴明翰描述的困境不置可否,既没有追问细节,也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。



只是沉默了几秒钟,然后提出了一个让吴明翰更加意外,却又隐隐觉得合情合理的请求:



“吴院士,您说的我明白了。技术攻关的艰难,我深有体会。”他停顿了一下,“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排,就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”



实际上,这个要求提的有些冒失。



华芯国际毕竟是个企业,常浩南手里也有企业,虽说不构成直接竞争,但你开口就要去最核心的地方看看,总归不太合适。



但吴明翰心中却念头飞转:常浩南院士突然对芯片制造产生了浓厚兴趣?而且是成熟制程?还要实地看生产线?



这绝对不仅仅是出于对智能制造芯片供应商的考察那么简单。



联想到火炬实验室那些前沿研究成果……



吴明翰的心脏不由得加速跳动了几下。



他隐隐感觉到,这次参观如果成行,或许会带来一些意想不到的转机。



“当然方便!”吴明翰冒着越俎代庖的风险应承下来,“我马上联系人安排!您看什么时候合适?我们全程配合!”



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