正文 第187章 考察日
情。张院士的反应，已经说明了一切。
“走。去看看你们的碳化硅。”沈副司长说。
一行人穿过厂区，来到碳化硅研发中心。
这里比钠电车间要安静得多。无尘服、风淋室，规矩森严。
陶安然和周德明正在监控室里盯着十台外延炉的运行参数。
陈启带着调研组换好防静电服，走进了观察走廊。
“陶工。周总监。”陈启通过对讲机喊了一声。
陶安然，看到玻璃墙外的调研组。她放下手里的记录本，走了出来。
“各位领导。这是我们的碳化硅量产测试线。”陶安然的语气充满了自信。
王研究员直接走到玻璃墙前，趴在玻璃上往里看。
“这外延炉。看着眼熟啊。”他指着其中一台设备。
“是华科精密的旧型号改造的。”陶安然如实回答。
“华科的旧设备？”王研究员愣住了，“那玩意儿的温场均匀性极差，你们用它来长碳化硅晶圆？”
陶安然没等他继续说，直接怼了回去。
“王老。设备是死的，人是活的。”
她走到控制台前，调出一张温度场分布云图。
“您看看这个。这是我们改造后的热场实测数据。”
王研究员凑近屏幕。
“径向温度梯度。正负0.3度？！”
他摘下防静电帽，用力揉了揉眼睛。
“这不可能！莱茵科技的最新型号也做不到这个精度！”
“我们做到了。”周德明从车间里走出来，手里拿着一个黑色的恒温箱。
他把恒温箱放在走廊的桌子上。打开。
里面静静地躺着一片六英寸的碳化硅晶圆。
通体透明。没有一丝杂色。在走廊的冷光灯下，散发着一种近乎完美的光泽。
“这是我们昨天刚切出来的一批晶圆中的一片。”周德明干巴巴地说，“国家级半导体材料检测中心的报告昨天也出了。微管缺陷率小于0.1个/平方厘米。”
王研究员颤抖着手，从口袋里掏出一个便携式高倍放大镜。
他凑近那片晶圆。
他摘下眼镜。拿出一块眼镜布，仔仔细细地擦了擦镜片。
“我干了三十年半导体设备研究。”王研究员的声音有些沙哑，“我一直以为，我们在第三代半导体材料上，至少落后国外十年。”
他重新戴上眼镜。看着那片晶圆。
“我以为我这辈子看不到了。”
他抬起头，看着陈启，看着陶安然，看着周德明。
“谢谢你们。”
这位头发花白的老专家，竟然微微弯下腰，鞠了一躬。
陈启赶紧上前一步，扶住他。
“王老。使不得。”
“走。去看看你们的碳化硅。”沈副司长说。
一行人穿过厂区，来到碳化硅研发中心。
这里比钠电车间要安静得多。无尘服、风淋室，规矩森严。
陶安然和周德明正在监控室里盯着十台外延炉的运行参数。
陈启带着调研组换好防静电服，走进了观察走廊。
“陶工。周总监。”陈启通过对讲机喊了一声。
陶安然，看到玻璃墙外的调研组。她放下手里的记录本，走了出来。
“各位领导。这是我们的碳化硅量产测试线。”陶安然的语气充满了自信。
王研究员直接走到玻璃墙前，趴在玻璃上往里看。
“这外延炉。看着眼熟啊。”他指着其中一台设备。
“是华科精密的旧型号改造的。”陶安然如实回答。
“华科的旧设备？”王研究员愣住了，“那玩意儿的温场均匀性极差，你们用它来长碳化硅晶圆？”
陶安然没等他继续说，直接怼了回去。
“王老。设备是死的，人是活的。”
她走到控制台前，调出一张温度场分布云图。
“您看看这个。这是我们改造后的热场实测数据。”
王研究员凑近屏幕。
“径向温度梯度。正负0.3度？！”
他摘下防静电帽，用力揉了揉眼睛。
“这不可能！莱茵科技的最新型号也做不到这个精度！”
“我们做到了。”周德明从车间里走出来，手里拿着一个黑色的恒温箱。
他把恒温箱放在走廊的桌子上。打开。
里面静静地躺着一片六英寸的碳化硅晶圆。
通体透明。没有一丝杂色。在走廊的冷光灯下，散发着一种近乎完美的光泽。
“这是我们昨天刚切出来的一批晶圆中的一片。”周德明干巴巴地说，“国家级半导体材料检测中心的报告昨天也出了。微管缺陷率小于0.1个/平方厘米。”
王研究员颤抖着手，从口袋里掏出一个便携式高倍放大镜。
他凑近那片晶圆。
他摘下眼镜。拿出一块眼镜布，仔仔细细地擦了擦镜片。
“我干了三十年半导体设备研究。”王研究员的声音有些沙哑，“我一直以为，我们在第三代半导体材料上，至少落后国外十年。”
他重新戴上眼镜。看着那片晶圆。
“我以为我这辈子看不到了。”
他抬起头，看着陈启，看着陶安然，看着周德明。
“谢谢你们。”
这位头发花白的老专家，竟然微微弯下腰，鞠了一躬。
陈启赶紧上前一步，扶住他。
“王老。使不得。”
本章未完，点击下一页继续阅读
(2/4)