北方。华科精密设备有限公司。



一号装配车间。



巨大的穹顶下,那台被拆解又重新组装的碳化硅外延炉,像一头沉睡的钢铁巨兽,静静地趴在车间中央。



这是改造后的第一次热场空载测试。



没有放入碳化硅粉料,也没有放入籽晶。只是单纯地测试设备在两千度高温下的温度场分布是否均匀。



这是碳化硅长晶最核心、也是最难的一关。



陶安然穿着灰色的工装,头发随意地扎在脑后。



这半个多月来,她和华科的技术团队吃住在车间里。从石墨毡的切割、保温层的阶梯化铺设,到感应线圈的重新绕制,每一个细节她都亲自盯着。



华科的老厂长赵建兴,背着手站在陶安然旁边。他今天没穿那身洗得发白的蓝色工装,而是换了一件干净的灰色夹克。



“陶工。”赵建兴看着那台外延炉,声音有些发紧,“这炉子,能行吗?”



陶安然没有看他。她的目光死死盯着控制台上的温度显示屏。



“赵厂长。参数是死的,设备是活的。”陶安然的声音沙哑,“行不行,烧了才知道。”



“抽真空。通氩气。准备升温。”



真空泵发出低沉的轰鸣声。炉腔内的空气被迅速抽干。



“真空度达标。氩气流量稳定。”陈宇汇报道。



“开始升温。第一阶段,目标温度1000度,升温速率每分钟10度。”陶安然下达指令。



感应加热线圈开始工作。



外延炉的表面温度逐渐升高。车间里的空气变得有些灼热。



赵建兴紧紧盯着屏幕上的温度曲线。



1000度。很顺利地达到了。



“第二阶段。目标温度2000度。升温速率每分钟5度。”陶安然的声音没有一丝波动。



这是最关键的阶段。



在两千度的高温下,热辐射会变得极其复杂。任何一点保温层的微小缺陷,都会导致炉腔内出现巨大的温度梯度。



温度一点点攀升。



1500度。



1800度。



1950度。



赵建兴屏住了呼吸。他的手心里全是汗。



“2000度!到达目标温度!”三个多小时后,助手喊道。



“保温两小时。启动多点温度传感器,监测径向和轴向温度梯度。”陶安然命令道。



屏幕上,十几条代表不同位置温度的彩色曲线,开始在坐标轴上延伸。



时间一分一秒地过去。



车间里安静得可怕。只有外延炉冷却水循环的哗哗声。



“保温结束。开始降温。”陶安然说。



又过了几个小时,炉体温度终于降到了安全范围。



“导出测试数据。生成温度场分布云图。”陶安然走到控制台前。
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