。但这是在当时的材料科学下,唯一能够勉强维持平衡的妥协方案。



既然水平方向的区域熔炼法对硅失效,物理学家们将目光转向了垂直方向的直拉法。



一九四八年十一月。西京第九特种半导体制造厂,直拉单晶车间。



车间内被一种类似于潜水艇内部的压抑感所笼罩。



中央矗立着一台高达三米的单晶炉。它由厚重的水冷不锈钢外壳封闭,内部是一个充满高纯度氩气的真空腔体。



腔体底部,放置着那个新造出来的透明石英坩埚。坩埚外侧环绕着石墨加热器。



操作员李刚穿着隔热服,戴着深色滤光眼镜,透过炉壁上的石英观察窗,盯着内部的反应。



“石墨加热器功率提升至五十千瓦。坩埚内高纯度多晶硅块开始熔化。”李刚对着通讯器汇报。



透过观察窗,可以看到石英坩埚内的硅块在高温下逐渐坍塌,最终化为一汪闪烁着刺眼白光的液态硅熔池。温度稳定在一千四百五十度左右。



“降下籽晶杆。”



在单晶炉的顶部,一根通过精密伺服电机控制的金属拉杆缓缓下降。拉杆的末端,夹着一小块具有完美晶格取向的单晶硅籽晶。



这是生长的种子。



当籽晶的尖端刚刚接触到液态硅熔池的表面时。



相变在液固交界面瞬间发生。



在热力学平衡中,液态硅原子接触到温度稍低的籽晶,失去了热运动的动能。它们没有杂乱无章地凝固,而是像士兵列队一样,严格按照籽晶原有的晶格排列方式,一层一层地在籽晶下方堆积、结晶。



“接触良好。形成半月形弯月面。开始提拉。”



李刚操作着控制台上的旋钮。



籽晶杆开始以每分钟几毫米的极度缓慢速度向上提拉,同时以每分钟几十转的速度进行旋转。而在下方,装满硅液的石英坩埚则以相反的方向缓慢旋转。



随着籽晶的上升,硅液被拉出液面,在冷却区的氩气吹拂下凝固。一根圆柱形的硅棒,像变魔术一样,从液态熔池中缓缓“长”了出来。



这个过程对温度梯度的控制要求苛刻到了变态的程度。



如果加热功率稍高一千瓦,刚刚结晶的硅棒底部就会重新融化掉回坩埚;如果功率稍低一千瓦,液态硅就会大面积结晶,将坩埚撑破。



李刚必须像走钢丝一样,时刻盯着液面的光晕变化,手动微调加热功率。



在提拉过程中,一个致命的干扰出现了。 由于石英坩埚壁面的温度高于中心,液态硅在坩埚内形成了强烈的马兰戈尼热对流。



高温硅液从边缘上升,流向中心,再下沉。 这种湍流式的流场,导致从石英坩埚壁溶解下来的微量氧原子,被源源不断地卷入生长界面的硅晶格中。



晶棒直径出现波动。孪晶现象发生!在显微结构下,原本应该完美单一的晶格,因为热流的扰动和氧杂质的嵌入,突然发生了晶向的改变,长出了另一个晶核。这就好比原本笔直生长的树干突然长出了分叉。 这种长有孪晶的硅棒,在电学性能上完全是废品。



为了压制这种热对流。物理学家们在单晶炉外部加装了一组巨大的超导电磁铁。


本章未完,点击下一页继续阅读

(3/5)

章节目录

军阀李枭从1916开始所有内容均来自互联网,零点小说网只为原作者龙十傅的小说进行宣传。欢迎各位书友支持龙十傅并收藏军阀李枭从1916开始最新章节