四月中旬,吉省长光所。



地下实验室的无尘室外,王老的团队已经连轴转了两天两夜。



玻璃窗内,一组从樱花国弄回来的日产光学物镜被拆成了几十个编号部件。



镜片、隔圈、压环、镀膜样片,全都铺在防静电垫上。



每一个动作都慢得要命。



因为这玩意儿不是普通镜头。



它关系到光刻机能不能从现有水平,往15微米制程上再迈一步。



林希站在玻璃窗外,看着里面的进度。



这时,江俊拿着一份资料册快步走了过来。



“林经理。”



他的声音比三年前稳了太多。



三年前,江俊站在林希面前时,背是塌的,手里攥着女儿的病历。



现在,他白大褂袖口卷到小臂,资料册夹在胳膊下,开口第一句就是工艺参数。



“光刻机要升级到15微米制程,光有镜头不够。”



江俊翻开工艺资料册,指着设计图上的对齐位。



“15微米线宽,上下层对齐的套刻精度,最多只能容忍300纳米误差。”



他手指敲了敲图纸。



“也就是说,我们的尺子,得能量出几十纳米级别的微小位移。”



江俊合上资料,语气很沉。



“三年前搞出来的1微米精度光栅尺,已经不够用了。”



林希点了点头。



他很清楚,在1984年,测量工具的精度落后,就是卡死芯片制程的物理天堑。



你连工作台挪了多少都量不准,还谈什么套刻?



芯片不是靠热血喊出来的。



每一道线,都得用精度咬出来。



“跟我来。”



江俊没多解释,转身就走。



林希跟着他推开走廊尽头一间独立实验室的门。



屋里温度比外面低,墙角的除湿机一直在响。



光学平台四周拉着黑色遮光帘,地面上连脚印都很少。



江俊走到一张光学平台前,手指搭在防静电黑布边缘,停了半秒。



那动作不像揭布。



更像是掀开自己三年心血的盖头。



他一把拉开黑布。



光学平台上,一台半米长的金属设备安安静静躺着。



结构紧凑,反光镜组排布复杂,铝合金外壳擦得发亮。侧面贴着一张手写标签。



cq-1型双频氦氖激光干涉仪。



林希蹲下来,绕着看了一圈。



“跑通了?”



“跑通了。”



江俊回答得很稳。



但他握着黑布的手一直没松,指腹压得

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