《直播1980：网友教我手搓火箭》 第309章 手测参数注入数控大脑
机活了。
但活过来只是第一关。
三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。
刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。
酸液配方按照教科书上的标准比例调配。
第一片硅片放进去
计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。
江俊看了一眼，脸色变了。
“侧蚀太严重。”
他让开目镜，林希凑上去看。
5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。
剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。
换配方，提高酸液浓度。
第二片，断线更多。
降低浓度，缩短时间。
第三片，沟槽底部没刻透。
连续三个通宵。
十七种配方。
没有一片合格。
第四天凌晨，刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。
陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。
林希坐在角落，闭上眼睛。
脑海里，直播间的画面亮了起来。
他把问题原原本本地说了一遍。
弹幕沉默了十几秒。
然后一个id冒了出来：【材料狗不睡觉】。
【别用纯hf。】
【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】
紧接着，第二条弹幕：
【加nh4f做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫boe，缓冲氧化物刻蚀液。】
第三条：
【关键点：35度恒温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8。你们没有恒温槽的话，用水浴锅套着不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯着。】
第四条，另一个id【半导体搬砖人】：
【nh4f这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】
弹幕区停了一秒。
然后齐刷刷一排：
【大佬！】
【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】
【六比一！记住了！考试要考！】
林希睁开眼。
“陈师傅。”
“化工库房里有没有氟化铵？”(3/3)
但活过来只是第一关。
三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。
刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。
酸液配方按照教科书上的标准比例调配。
第一片硅片放进去
计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。
江俊看了一眼，脸色变了。
“侧蚀太严重。”
他让开目镜，林希凑上去看。
5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。
剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。
换配方，提高酸液浓度。
第二片，断线更多。
降低浓度，缩短时间。
第三片，沟槽底部没刻透。
连续三个通宵。
十七种配方。
没有一片合格。
第四天凌晨，刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。
陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。
林希坐在角落，闭上眼睛。
脑海里，直播间的画面亮了起来。
他把问题原原本本地说了一遍。
弹幕沉默了十几秒。
然后一个id冒了出来：【材料狗不睡觉】。
【别用纯hf。】
【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】
紧接着，第二条弹幕：
【加nh4f做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫boe，缓冲氧化物刻蚀液。】
第三条：
【关键点：35度恒温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8。你们没有恒温槽的话，用水浴锅套着不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯着。】
第四条，另一个id【半导体搬砖人】：
【nh4f这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】
弹幕区停了一秒。
然后齐刷刷一排：
【大佬！】
【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】
【六比一！记住了！考试要考！】
林希睁开眼。
“陈师傅。”
“化工库房里有没有氟化铵？”(3/3)