正文 第一卷 第202章 技术突破,核心保密
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这个时间差,耐人寻味。
“名单有没有留?”
“前台有记录,但审核走的是对外合作部,实验室这边不是第一道关口。”蒋帆顿了一下,“有两批,进到了实验室中区走廊。”
中区走廊,和核心区隔着一道双重门禁。
按照规定,中区走廊是不能进入任何机密区域的。
但是走廊本身,是对着实验室的玻璃幕墙的。
里面的设备布局,用肉眼的话能看到个大概的情况。
陈平放在脑子里把这件事过了一遍,心里对这个情况有些担心,但没有立刻表态,只是转向了陆渊。
“你刚才说第十七组参数,跑出什么结果了?”
陆渊翻开记录本,用手指指向最后两页。
“这一组的光源脉冲频率,稳定在了13.5纳米这个数值,持续了七十二小时都没有出现衰减,而且出现了一个之前从来没有出现过的现象。”
陆渊把记录本往前推了推,手指落在一组标了红圈的数据上面。
“功率转换率,比原来设计的理论峰值,高出了整整21%。”
这句话说完,蒋帆轻轻地呼出了一口气,看起来他自己也是刚刚才确认的,时间不长。
陈平放把那一页数据从头到尾看了一遍,没有说话。
21%。
不是优化,是量级的跨越。
意味着逐光一号在光刻机的实际应用场景里,能比市面上任何国产方案都更接近商业化量产的门槛。
“这套数据,是在什么条件下跑出来的?”
“光源腔体换了一批新的锡靶,配合我们自研的磁场约束模块。”陆渊回答得很快,“外部没有办法单纯靠硬件仿制来复现,核心参数是在我们自己的控制软件上调出来的。”
陈平放把记录本还给陆渊,转过身。
“好,这个结果,今天之前,有没有跟任何外部人员提过只言片语?”
陆渊愣了一下,思路往回拉了一拉。
“……有一次,上周三,我在园区食堂,旁边坐的是对外合作部的林工。”
“他问了什么?”
“就是随口问最近进展怎么样,我说在跑新的光源参数,说到了锡靶。”
就这一句。
锡靶。
在半导体圈子里,这不是什么机密名词。但放在这个时间节点,放在“芯火项目正在攻关EUV光源”这个背景下
懂行的人,能从这一个词反推出核心技术路线。
对外合作部,对外接待。上周已经有两批访客进了中区走廊。
陈平放把这几个信息点在脑子里排了一遍,没有让它们停下来。
“林工,全名叫什么?”
陆渊说了一个名字。
陈平放把这个名字记住,转向蒋帆。
这个时间差,耐人寻味。
“名单有没有留?”
“前台有记录,但审核走的是对外合作部,实验室这边不是第一道关口。”蒋帆顿了一下,“有两批,进到了实验室中区走廊。”
中区走廊,和核心区隔着一道双重门禁。
按照规定,中区走廊是不能进入任何机密区域的。
但是走廊本身,是对着实验室的玻璃幕墙的。
里面的设备布局,用肉眼的话能看到个大概的情况。
陈平放在脑子里把这件事过了一遍,心里对这个情况有些担心,但没有立刻表态,只是转向了陆渊。
“你刚才说第十七组参数,跑出什么结果了?”
陆渊翻开记录本,用手指指向最后两页。
“这一组的光源脉冲频率,稳定在了13.5纳米这个数值,持续了七十二小时都没有出现衰减,而且出现了一个之前从来没有出现过的现象。”
陆渊把记录本往前推了推,手指落在一组标了红圈的数据上面。
“功率转换率,比原来设计的理论峰值,高出了整整21%。”
这句话说完,蒋帆轻轻地呼出了一口气,看起来他自己也是刚刚才确认的,时间不长。
陈平放把那一页数据从头到尾看了一遍,没有说话。
21%。
不是优化,是量级的跨越。
意味着逐光一号在光刻机的实际应用场景里,能比市面上任何国产方案都更接近商业化量产的门槛。
“这套数据,是在什么条件下跑出来的?”
“光源腔体换了一批新的锡靶,配合我们自研的磁场约束模块。”陆渊回答得很快,“外部没有办法单纯靠硬件仿制来复现,核心参数是在我们自己的控制软件上调出来的。”
陈平放把记录本还给陆渊,转过身。
“好,这个结果,今天之前,有没有跟任何外部人员提过只言片语?”
陆渊愣了一下,思路往回拉了一拉。
“……有一次,上周三,我在园区食堂,旁边坐的是对外合作部的林工。”
“他问了什么?”
“就是随口问最近进展怎么样,我说在跑新的光源参数,说到了锡靶。”
就这一句。
锡靶。
在半导体圈子里,这不是什么机密名词。但放在这个时间节点,放在“芯火项目正在攻关EUV光源”这个背景下
懂行的人,能从这一个词反推出核心技术路线。
对外合作部,对外接待。上周已经有两批访客进了中区走廊。
陈平放把这几个信息点在脑子里排了一遍,没有让它们停下来。
“林工,全名叫什么?”
陆渊说了一个名字。
陈平放把这个名字记住,转向蒋帆。
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