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“因为,从今天起,在极紫外光刻,也就是EUV领域,长达几十年的技术垄断,将被我们打破!”



这话一出,台下顿时一片哗然。



太狂了!



这是几乎所有人脑子里的第一个念头。



就连几位白发苍苍的老院士,都忍不住皱起了眉。年轻人有冲劲是好事,但话不能乱说。



陈平放没有理会台下的动静,他侧过身,向后台伸出手。



“下面,有请我们芯火项目EUV光源技术总工程师,蒋帆先生!”



一个穿着洗的发白的格子衬衫,戴着黑框眼镜,头发乱糟糟的中年男人从后台走了出来。



他看起来就像个常年在实验室的技术员,眼神里还有点不适应。



这就是总工程师?



台下的议论声更大了。



蒋帆走到台前,对着话筒只说了一句:“百闻不如一见,请看大屏幕。”



他身后巨大的LED屏幕亮起,画面切换到一个布满仪器的实验室。



实验室中间,一台造型奇特的银白色机器正静静的立着。



“这就是我们自主研发的,逐光一号EUV光源原型机。”



蒋帆的声音有些发抖。



他拿出一个平板电脑,手指在上面轻轻一点。



“现在,启动!”



嗡——



一声轻微的电流声后,原型机内部亮起几道蓝色的电弧,所有人的心都提了起来。



大屏幕的侧边,一排排实时数据开始疯狂的跳动。



功率、波长、能量转化效率、稳定性……



“功率……13.5瓦……还在上升!”



“稳定了!功率稳定在15瓦!”台下一个懂行的年轻专家忍不住出声。



“天!看那个波长!13.5纳米!误差低于0.01%!”



“转化效率……4.8%!我的天,这都追上ASML三年前的水平了!”



会场一下就乱了。



那些之前还抱着怀疑态度的专家和院士,此刻全都站了起来,死死的盯着屏幕上的数据,好像要把数字刻进眼睛里。



李建国和市委书记也站了起来,两人对视一眼,李建国的手紧紧攥成了拳头。



苏晴晚的相机都忘了按快门,她张着嘴,看看台上的陈平放,又看看屏幕上那束代表未来的光。



她终于明白了陈平放说的初心是什么。



原来,那束光,就是他的初心。



在所有人的注视下,蒋帆按下了最后一个按钮。



实验室里,机械臂精准的将一块硅晶圆送入光束照射范围。



几秒钟后,屏幕上显示出光刻后的晶圆微观图像——清晰、锐利、完美的电路纹理。



成功了!



啪!啪!啪!


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