涉条纹周期d=λ/(2sinθ)……”



“亚波长分辨率验证……”



张默是越看越心惊,越看越精神。



这个学生的解法,虽然用的是高中物理的简谐波叠加公式,没有用到他们工程中那些复杂的傅里叶光学变换和矢量衍射理论。



但是!



逻辑上却挑不出一点毛病。



而且结尾的备注更是让他眼前一亮。



【注:此方案可以省去高精度掩模版制造的环节,而且不需要投影物镜组,虽然对光源相干性与相位稳定性要求较高,但在周期性微纳结构的小批量高精度制造中,成本优势巨大。】



“嘶。”



张默咽了咽口水,忍不住喝了一口桌上的咖啡。



“有灵性,这是真的懂行。”



这个学生准确的抓住了“无掩模”和“去透镜化”这两个降本增效的关键点。



张默在心里快速估算了一下。



如果按照这个学生简化的思路,去搭建一个用于特定制程的中试线。



省去了千万级的投影物镜,省去了百万级的掩模版套组。



“高相干稳频光源成本虽然会提升2倍左右,但整体BOM成本……至少能下降40%!”



他自己都有些惊疑不定了。



“真的假的?”



他快速抽出一张A4纸,飞快的验算起来。



ΔCost≈Cost_Laser_Stable-(Cost_Projection_Lens+Cost_Mask_Set)



他在纸上画出了几个简易的模块图,嘴里念念有词。



“如果用他在题里提到的‘分光棱镜’做相干分光,配合平面反射镜做光路折叠,机台的体积还能再缩小……”



如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台,成本比他们现在用的那套设备,起码还要低10%~15%。



“不行,得让组里的人先做个模拟!顺着这个高中物理的思路,看看能不能把那个该死的‘相位锁定模块’给简化掉!”



张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了,他拿着试卷起身就向外走去。



旁边的教授诧异道。



“张工,你去哪?卷子还没改完呢。”



张默就像没听见一样,嗯,他确实是没听见,现在他满脑子都是降低成本。



留下几个阅卷老师面面相觑。



“怎么了这是?”



“不知道啊……”



大家议论了下也就继续批改手中的试卷了,谁还没有个改卷改到奔溃的时候呢。



这时,另一个教授拿起一张试卷。



“哎,我这边有一张不错的,用了相移掩模技术,虽然有点堆砌理论,但对于高中生来说,能懂这个已经很不容易了。”



这张试卷在几个老师之间传阅了一圈。



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