正文 第31章 学霸和学霸亦有差距
叫江声，蓉城七中的学生，这次来参加杯赛也是想看看外面的世界到底有多大。
“明年不来了，没意思。”
随即余光看到了一旁的李东，以及他还没动笔的实验题。
“哎，难怪老师说学霸与学霸亦有差距。”
随后便不在关注李东，开始检查试卷了。
而此时的李东终于想到了一个切入点。
他快速在试卷上写下：
【方案名称：双光束激光干涉无掩模光刻】
这个方案的核心原理，主要是基于波的干涉原理，它没有是用传统的透镜成像，而是利用两束光在晶圆的表面发生干涉，形成条纹。
确定了核心，李东很快就将推导写了出来。
设两束波长为λ的相干光，以入射角θ对称照射晶圆。
根据干涉极值条件，光程差Δx=kλ时为亮纹。
在空间几何关系中，干涉条纹的周期（间距）d满足：
d=λ/(2sinθ)
故，最小线宽（半周期）为：
δ_min=d/2=λ/(4sinθ)
【突破性验证：】
当θ趋近90°时，sinθ趋近1。
此时理论极限可达λ/4。
对比传统瑞利极限0.61λ/NA（空气中NA反射镜对准->干涉曝光。
【注：虽然该干涉方案主要适用于周期性图案的制备，但可作为先进制程中特定层的低成本替代方案，在生产约束内实现良率与成本的最优解。】
李东放下笔，看了一眼时间。
还剩十五分钟……
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“明年不来了，没意思。”
随即余光看到了一旁的李东，以及他还没动笔的实验题。
“哎，难怪老师说学霸与学霸亦有差距。”
随后便不在关注李东，开始检查试卷了。
而此时的李东终于想到了一个切入点。
他快速在试卷上写下：
【方案名称：双光束激光干涉无掩模光刻】
这个方案的核心原理，主要是基于波的干涉原理，它没有是用传统的透镜成像，而是利用两束光在晶圆的表面发生干涉，形成条纹。
确定了核心，李东很快就将推导写了出来。
设两束波长为λ的相干光，以入射角θ对称照射晶圆。
根据干涉极值条件，光程差Δx=kλ时为亮纹。
在空间几何关系中，干涉条纹的周期（间距）d满足：
d=λ/(2sinθ)
故，最小线宽（半周期）为：
δ_min=d/2=λ/(4sinθ)
【突破性验证：】
当θ趋近90°时，sinθ趋近1。
此时理论极限可达λ/4。
对比传统瑞利极限0.61λ/NA（空气中NA反射镜对准->干涉曝光。
【注：虽然该干涉方案主要适用于周期性图案的制备，但可作为先进制程中特定层的低成本替代方案，在生产约束内实现良率与成本的最优解。】
李东放下笔，看了一眼时间。
还剩十五分钟……
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