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【光刻技术的灵感源于印刷术,但通过光化学反应实现了微米级精度的图形转移,从而在硅材料上制作出电路。】
【其原理有三大重点:】
【光致抗蚀效应:利用光刻胶在特定波长光照下发生的化学变化(交联和分解),将掩模图案“复印”到硅片表面。】
【选择性蚀刻:通过化学溶液去除未被光刻胶保护的区域,形成半导体器件所需的pn结、金属互连等结构。】
【扩散掺杂:在光刻形成的窗口中注入杂质(如硼、磷),精准控制半导体的导电类型与性能。】
所以,光刻胶才是这个技术的核心,其他都是现有条件下可以实现的。
那光刻胶怎么来呢?
这东西,恰恰是方文知道的。
他在第二张纸上写下。
【光刻胶:聚乙烯醇肉桂酸酯】
【成分:聚乙烯醇pva(作为高分子骨架,提供成膜性和机械强度)、肉桂酸酯基团(通过酯化反应接枝到pva链上,赋予光敏性)、增感剂5-硝基苊(将感光波长扩展,提升对紫外光的响应效率)】
而后面的合成工艺,写了密密麻麻一大堆。
其中聚乙烯醇pva的制备,早在20多年前,就由欧洲化学家完成。
将聚乙酸乙烯酯的醇溶液中加入碱(氢氧化钾),获得了一种树脂状的产物,该产物即为聚乙烯醇。
而肉桂酸,则能用珀金反应制备出来。
再将将肉桂酸与吡啶混合,一定温度下产生中间体,随后与pva进行酯化反应。
反应液再倒入大量甲醇中,使聚乙烯醇肉桂酸酯以白色絮状沉淀析出,未反应的pva和副产物溶于甲醇中。
析出的聚乙烯醇肉桂酸酯经过改造制作成粉末,然后使用环己酮作为溶剂,配制成5-10浓度的胶液,添加5-硝基苊(占胶液重量的1-3)作为增感剂,搅拌均匀后静置脱泡。
这就是光刻胶的制作工艺了。
其中有一项物质,是方文都没有具体制作方法的5-硝基苊。
但并不能做不到,早在1834年,苊这种物质就已经被德国化学家从煤焦油中分离出来。
方文大概记得,只要有了苊、加入冰醋酸中,经过一系列化学操作,再加入65硝酸,在23-26c下搅拌一小时,即可生成5-硝基苊。
但具体需要什么样的化学操作,他不知道。
这就需要泰山研究院的化学家去不断实验来找出正确的结果了。
随即,他将试制5-硝基苊的实验工作安排下去,让研究院的化学家专心致力于找出他想要的物质。
至于以后制备光刻胶,还有实现光刻技术,那就要等他从北边回来后再说了。
两天时间过去,方文准备前往晋察冀根据地。
临行前,他将写有光刻技术的两张纸放入牛皮袋中,起身开门要去二楼的资料室存放。
却又在门前停下。
这种未来技术,他深知其重要性,千万不能被鬼子的间谍窃取。
本章未完,点击下一页继续阅读 (3/5)
【光刻技术的灵感源于印刷术,但通过光化学反应实现了微米级精度的图形转移,从而在硅材料上制作出电路。】
【其原理有三大重点:】
【光致抗蚀效应:利用光刻胶在特定波长光照下发生的化学变化(交联和分解),将掩模图案“复印”到硅片表面。】
【选择性蚀刻:通过化学溶液去除未被光刻胶保护的区域,形成半导体器件所需的pn结、金属互连等结构。】
【扩散掺杂:在光刻形成的窗口中注入杂质(如硼、磷),精准控制半导体的导电类型与性能。】
所以,光刻胶才是这个技术的核心,其他都是现有条件下可以实现的。
那光刻胶怎么来呢?
这东西,恰恰是方文知道的。
他在第二张纸上写下。
【光刻胶:聚乙烯醇肉桂酸酯】
【成分:聚乙烯醇pva(作为高分子骨架,提供成膜性和机械强度)、肉桂酸酯基团(通过酯化反应接枝到pva链上,赋予光敏性)、增感剂5-硝基苊(将感光波长扩展,提升对紫外光的响应效率)】
而后面的合成工艺,写了密密麻麻一大堆。
其中聚乙烯醇pva的制备,早在20多年前,就由欧洲化学家完成。
将聚乙酸乙烯酯的醇溶液中加入碱(氢氧化钾),获得了一种树脂状的产物,该产物即为聚乙烯醇。
而肉桂酸,则能用珀金反应制备出来。
再将将肉桂酸与吡啶混合,一定温度下产生中间体,随后与pva进行酯化反应。
反应液再倒入大量甲醇中,使聚乙烯醇肉桂酸酯以白色絮状沉淀析出,未反应的pva和副产物溶于甲醇中。
析出的聚乙烯醇肉桂酸酯经过改造制作成粉末,然后使用环己酮作为溶剂,配制成5-10浓度的胶液,添加5-硝基苊(占胶液重量的1-3)作为增感剂,搅拌均匀后静置脱泡。
这就是光刻胶的制作工艺了。
其中有一项物质,是方文都没有具体制作方法的5-硝基苊。
但并不能做不到,早在1834年,苊这种物质就已经被德国化学家从煤焦油中分离出来。
方文大概记得,只要有了苊、加入冰醋酸中,经过一系列化学操作,再加入65硝酸,在23-26c下搅拌一小时,即可生成5-硝基苊。
但具体需要什么样的化学操作,他不知道。
这就需要泰山研究院的化学家去不断实验来找出正确的结果了。
随即,他将试制5-硝基苊的实验工作安排下去,让研究院的化学家专心致力于找出他想要的物质。
至于以后制备光刻胶,还有实现光刻技术,那就要等他从北边回来后再说了。
两天时间过去,方文准备前往晋察冀根据地。
临行前,他将写有光刻技术的两张纸放入牛皮袋中,起身开门要去二楼的资料室存放。
却又在门前停下。
这种未来技术,他深知其重要性,千万不能被鬼子的间谍窃取。
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