据我的了解,目前全球最为尖端的光刻机是来自荷兰的asl,我们国家的光刻机设备还远远不能和asl相比较,你的两年时间完成投产,是基于什么信心而做出的判断?”



沈总管虽然不是专业人士,可是在来的路上,还是看了一部份的资料,所以此刻便问了出来。



王东来并不在意这一点,而是详细地和沈总管解释了起来:“asl在光刻机领域的霸主地位,并没有多少年。”



“这其中,也不全是asl的功劳,它的70的技术都是白头鹰产品和白头鹰技术。”



“比如说是镜头来自蔡司,asl拥有蔡司的20多的股份,cyr的极紫外光源排名世界前列,被asl收购,光掩模板、机电设备、激光器、微激光系统、离子注入机套件、准分子激光源、电子束检测设备等等,要么是被asl收购,要么就是asl入股。”



“正是因为有这些尖端技术的加持,所以才能让asl的发展如此迅速,全球第一个拿出了沉浸式euv光刻机,领先市场。”



“我们国家的光刻机想要超过达到世界一流水平,就必须要从这些配件一个个地开始突破,只有这样,才能达到这个水平。”



“这是我们跟在asl后面发展,想要追赶上来的唯一办法。”



“如果这么做的话,根据我的估计,最低也需要十五年才能追赶上来。”



“但如果是我们换一种思维呢!”



“asl把光刻机做的这么小,所以它才需要这么多高端的设备和仪器。”



“它之所以做小,是为了可以出口售卖,卖给芯片厂商,为了方便运输,为了方便搬运。”



“但如果我们抛弃运输,售卖的想法呢。”



“直接把小小的一个光刻机变成一座光刻工厂,这样一来,就能避开光刻机的很多技术要求了。”



“起码,这么做的话,我们就未必需要最尖端的技术来组装。”



“同时,一台光刻机每天二十四小时工作下来,生产出来的合格芯片,也只有几万枚而已。”



“但是,如果由光刻工厂来生产的话,生产效率能在光刻机的基础上翻上最低十倍之多。”



沈总管并没有因为王东来说出来的这么多优势而兴奋,依旧保持着冷静。



“你说的都是优点,我想半导体领域应该也有人能想到这一点,但是却没有人这么做,也没有这样的尝试,这里面肯定还是存在着一些问题。”



“从目前的情况来看,应该是坏处多于好处,所以你说的光刻工厂可行性暂且不说,你如何能证明它建造完成之后,可以超过光刻机。”



听到沈总管指出这个问题,王东来脸上浮现出一丝笑意。



“领导,您说的确实是一个很重要的问题。”



“关于这一点,我也可以做一个简单的解释。”



“光刻机也存在优点和缺点,它的缺点是光源相干性极差,使用反射镜滤光单镜光源损耗率30%,总损耗98%,asl使用的反射镜全世界只有蔡司能够生产。”



“第二,光刻机的锡污染以及光路散热工程造成易损件成本增加,高na升级到600瓦光源功率,使得整机成本增加到四倍。”



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