龙夏官员愣了一下。
“野田魁首今天上午说的话，请贵方不要全部当真。”
他摘下眼镜，用口袋里掏出来的绒布擦了擦镜片，重新戴上之后，用一种像是在讨论天气的平淡语气继续说道。
“东瀛内阁今天发布的声明，是必须做给雄鹰看的一场戏。
雄鹰特使给我们的压力已经大到了我们无法在公开层面拒绝的地步——他们不仅威胁要重新审查美日安保条约的执行范围，还拿出了驻日美军重新部署的方案来施压，甚至暗示如果东瀛不配合，他们会在联合国安理会上否决东瀛成为常任理事国的任何可能性。
魁首没有选择，他必须在公开场合表态支持雄鹰，否则我们的安全架构就会出现裂缝。”
龙夏商务部的副司长靠在椅背上，双手交叉放在桌面上，表情平静得像一潭死水。他没有急着说话，而是等着永井把话说完。
永井从公文包里抽出一份薄薄的文件，推到龙夏副司长面前。
“但经产省和内阁官房已经达成了一个内部共识——公开层面的制裁归公开层面，暗地里的合作不能停。
康尼和能佳两家企业将继续维持与龙夏在光刻机技术上的合作研发关系，所有合作项目全部转入地下渠道，资金走香江和狮城的离岸账户，设备交付采用第三国中转的方式，双方技术人员的交流改用商务考察和学术交流的名义来进行。我们现在最关心的问题只有一个——龙夏的28纳米浸润式光刻机，什么时候能够实现量产交付？”
龙夏商务部副司长低头翻看那份文件的时候，坐在他旁边的鹏城微电子设备公司的技术总监接过了话头。
他是一个四十岁出头、满头浓密黑发的工程师，说话的时候喜欢用手指在桌面上画示意图，仿佛随时都在脑子里跑着一套技术路线图。
“28纳米浸润式光刻机的样机已经在我们的生产线上连续运行了将近四个月，做了一共十二万片晶圆的工艺验证，良品率稳定在百分之九十五以上，光源功率波动控制在千分之一以内，双工件台的重复定位精度已经做到了三纳米以内。
量产版本的组装和调试周期大概还需要四到五个月，第一批量产机原定是供应龙夏国内晶圆厂的需求，但如果东瀛方面有诚意加大合作力度，我们可以考虑把第二批量产机的交付优先级提前。”
……… 永井的眼睛亮了一下，但他很快就控制住了自己的表情。他推了推眼镜，用一种刻意放慢了节奏的语速问道。
“那么，比28纳米更先进的下一代光刻机呢？龙夏方面在EUV光源和光学系统上的进展，能不能跟我们透露一个大致的时间表？”
技术总监和商务部副司长对视了一眼，然后技术总监用一种谨慎到了近乎吝啬的语气回答道。
“这个暂时不方便透露具体的时间节点。
但我可以告诉你的是，我们在极紫外光源的核心技术路径上已经找到了可行的解决方案，光学系统的多层膜反射镜也取得了关键性的工艺突破。
如果把28纳米浸润式光刻机的商业化量产看作是走完了第一段路，那么下一代技术的研发进度大概已经走完了第二段路的百分之六七十。
至于什么时候能看到量产机，那要取决于很多因素，包括东瀛方面能拿出多少诚意来跟我们合作。”
永井听懂了这句话的潜台词
“野田魁首今天上午说的话，请贵方不要全部当真。”
他摘下眼镜，用口袋里掏出来的绒布擦了擦镜片，重新戴上之后，用一种像是在讨论天气的平淡语气继续说道。
“东瀛内阁今天发布的声明，是必须做给雄鹰看的一场戏。
雄鹰特使给我们的压力已经大到了我们无法在公开层面拒绝的地步——他们不仅威胁要重新审查美日安保条约的执行范围，还拿出了驻日美军重新部署的方案来施压，甚至暗示如果东瀛不配合，他们会在联合国安理会上否决东瀛成为常任理事国的任何可能性。
魁首没有选择，他必须在公开场合表态支持雄鹰，否则我们的安全架构就会出现裂缝。”
龙夏商务部的副司长靠在椅背上，双手交叉放在桌面上，表情平静得像一潭死水。他没有急着说话，而是等着永井把话说完。
永井从公文包里抽出一份薄薄的文件，推到龙夏副司长面前。
“但经产省和内阁官房已经达成了一个内部共识——公开层面的制裁归公开层面，暗地里的合作不能停。
康尼和能佳两家企业将继续维持与龙夏在光刻机技术上的合作研发关系，所有合作项目全部转入地下渠道，资金走香江和狮城的离岸账户，设备交付采用第三国中转的方式，双方技术人员的交流改用商务考察和学术交流的名义来进行。我们现在最关心的问题只有一个——龙夏的28纳米浸润式光刻机，什么时候能够实现量产交付？”
龙夏商务部副司长低头翻看那份文件的时候，坐在他旁边的鹏城微电子设备公司的技术总监接过了话头。
他是一个四十岁出头、满头浓密黑发的工程师，说话的时候喜欢用手指在桌面上画示意图，仿佛随时都在脑子里跑着一套技术路线图。
“28纳米浸润式光刻机的样机已经在我们的生产线上连续运行了将近四个月，做了一共十二万片晶圆的工艺验证，良品率稳定在百分之九十五以上，光源功率波动控制在千分之一以内，双工件台的重复定位精度已经做到了三纳米以内。
量产版本的组装和调试周期大概还需要四到五个月，第一批量产机原定是供应龙夏国内晶圆厂的需求，但如果东瀛方面有诚意加大合作力度，我们可以考虑把第二批量产机的交付优先级提前。”
……… 永井的眼睛亮了一下，但他很快就控制住了自己的表情。他推了推眼镜，用一种刻意放慢了节奏的语速问道。
“那么，比28纳米更先进的下一代光刻机呢？龙夏方面在EUV光源和光学系统上的进展，能不能跟我们透露一个大致的时间表？”
技术总监和商务部副司长对视了一眼，然后技术总监用一种谨慎到了近乎吝啬的语气回答道。
“这个暂时不方便透露具体的时间节点。
但我可以告诉你的是，我们在极紫外光源的核心技术路径上已经找到了可行的解决方案，光学系统的多层膜反射镜也取得了关键性的工艺突破。
如果把28纳米浸润式光刻机的商业化量产看作是走完了第一段路，那么下一代技术的研发进度大概已经走完了第二段路的百分之六七十。
至于什么时候能看到量产机，那要取决于很多因素，包括东瀛方面能拿出多少诚意来跟我们合作。”
永井听懂了这句话的潜台词
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