后，监控员猛地跳了起来。
“二十五分钟！
这次稳定输出了二十五分钟！”
小团队的区域内响起了压低的欢呼。
虽然时间还不够，虽然问题依然重重，但这证明了人工智能辅助优化这条路的正确性，点燃了新的希望。
袁涛狠狠锤了一下手掌，转向郭雪云。
“老郭！光来了！虽然只亮了二十五分钟！”
郭雪云紧紧攥着拳头，指节发白。
“方向没错！稳住，继续让盘古优化！数据！喂给它全维度的数据！”
锡微滴难题，似乎看到了一丝曙光，但那也只是光源系统这座大冰山显露出的一角。
新的风暴接踵而至，而且同样棘手。
“反射镜的镀膜检测结果出来了……”
负责镜片测试的陈工拿着报告单走进苏定平的临时办公室，声音干涩。
“……精度……远远达不到要求。”
苏定平的心猛地一沉。
作为将脆弱易散的极紫外光多次反射聚焦的关键核心部件，整个光刻机系统需要数十面这样的超高精度反射镜。
每一面，都需要在基础基材上镀上多达十四层的特殊光学薄膜！层数多只是一方面，关键是每一层薄膜的厚度误差必须小于0.1纳米！
这是一个让普通显微镜都失去意义，让大部分机械加工望尘莫及的精度。
“我们自己尝试的几批次，误差都在几十个纳米甚至百纳米级别，最好的也超过了设计要求十倍以上。”
陈工的声音充满无力感。
“这种精度……已经接近材料的物理极限和控制的极限了。
苏总工，我们现有的设备和工艺积淀，短期……几乎不可能！”
苏定平看着报告上刺眼的检测数据，沉默了十几秒。
他何尝不知其中的难度？这本身就是EUV光刻机最难啃的骨头之一，与光源、工作台并称三大核心壁垒。
他那份神奇的“图纸”，其关于反射镜镀膜的真正技术篇章，如同被上了层层枷锁，纹丝不动。
唯一的曙光，似乎指向了国际领先、几乎被日耳曼部落蔡司公司垄断的磁控溅射镀膜技术和与之配套的超精密检测工艺。
“陈工，继续组织我们的人，利用现有的条件，尝试各种可能的工艺改进方案。”
苏定平语气沉凝地布置任务。
“哪怕只有万分之一的可能性，我们也要摸索，不能坐等。”
“是！”
陈工点头，虽然感到难如登天。
“另外……”
苏定平深吸一口气。
“联系明珠那边。
技术引进方面……看能不能走通日耳曼的路径。”
秦明珠接到请求后，立刻行动了起来。
这
“二十五分钟！
这次稳定输出了二十五分钟！”
小团队的区域内响起了压低的欢呼。
虽然时间还不够，虽然问题依然重重，但这证明了人工智能辅助优化这条路的正确性，点燃了新的希望。
袁涛狠狠锤了一下手掌，转向郭雪云。
“老郭！光来了！虽然只亮了二十五分钟！”
郭雪云紧紧攥着拳头，指节发白。
“方向没错！稳住，继续让盘古优化！数据！喂给它全维度的数据！”
锡微滴难题，似乎看到了一丝曙光，但那也只是光源系统这座大冰山显露出的一角。
新的风暴接踵而至，而且同样棘手。
“反射镜的镀膜检测结果出来了……”
负责镜片测试的陈工拿着报告单走进苏定平的临时办公室，声音干涩。
“……精度……远远达不到要求。”
苏定平的心猛地一沉。
作为将脆弱易散的极紫外光多次反射聚焦的关键核心部件，整个光刻机系统需要数十面这样的超高精度反射镜。
每一面，都需要在基础基材上镀上多达十四层的特殊光学薄膜！层数多只是一方面，关键是每一层薄膜的厚度误差必须小于0.1纳米！
这是一个让普通显微镜都失去意义，让大部分机械加工望尘莫及的精度。
“我们自己尝试的几批次，误差都在几十个纳米甚至百纳米级别，最好的也超过了设计要求十倍以上。”
陈工的声音充满无力感。
“这种精度……已经接近材料的物理极限和控制的极限了。
苏总工，我们现有的设备和工艺积淀，短期……几乎不可能！”
苏定平看着报告上刺眼的检测数据，沉默了十几秒。
他何尝不知其中的难度？这本身就是EUV光刻机最难啃的骨头之一，与光源、工作台并称三大核心壁垒。
他那份神奇的“图纸”，其关于反射镜镀膜的真正技术篇章，如同被上了层层枷锁，纹丝不动。
唯一的曙光，似乎指向了国际领先、几乎被日耳曼部落蔡司公司垄断的磁控溅射镀膜技术和与之配套的超精密检测工艺。
“陈工，继续组织我们的人，利用现有的条件，尝试各种可能的工艺改进方案。”
苏定平语气沉凝地布置任务。
“哪怕只有万分之一的可能性，我们也要摸索，不能坐等。”
“是！”
陈工点头，虽然感到难如登天。
“另外……”
苏定平深吸一口气。
“联系明珠那边。
技术引进方面……看能不能走通日耳曼的路径。”
秦明珠接到请求后，立刻行动了起来。
这
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