需要能支撑烛龙稳定运行到极限输出的运算模块!需要能打通南天门计划的信息高速公路基石!我们要的——是7nm!”



他一步踏上控制台前的台阶,目光如同燃烧的星火扫过每一个人。



“从今天起,目标!榨干伏羲一号的极限!目标!7nm!”



目标7nm!口号惊天动地,现实是血肉模糊的惨烈攀登!



“伏羲一号”原始设计和部件的粗糙,就如同拖在脚下的沉重镣铐。尝试提升精度?核心光源功率不足、稳定性差!镜头光路系统像差难以修正!



浸没式水膜系统流速控制不稳定极易产生气泡造成曝光缺陷!工作台移动精度只能达到勉强满足180nm制程要求的水准!



一次次的优化调校失败!



一批批昂贵的“昆仑胎玉”硅片变成废料堆里的焦黑残骸!



一瓶瓶珍稀的“蚀影”胶水被无效消耗!



时间像流水一样过去!



“烛龙”反应堆的工期倒计时如同催命符悬在头顶!



焦躁!绝望!无能为力的负面情绪如同一头巨大的阴影怪兽在实验室里弥漫。再这样下去,别说7nm,连稳定量产200nm都可能遥遥无期!时间要被拖死了!



又是一个深夜,会议室烟雾缭绕,人人眼窝深陷。



袁涛,这个头发已经因熬夜过度而变得稀疏的技术骨干,狠狠掐掉了虚拟烟头,眼睛通红地站起来。



“苏总!常规优化走不通了!时间根本不给机会!我们…必须走险棋!用多重曝光!用超常规的工艺路径去迭高精度!”



满室皆惊!



“多重曝光?!”



李老花白的眉毛瞬间拧成了疙瘩。



“理论上是可行!但那是要在完美设备上才能实施的极限微操!我们现在这台伏羲一号…自己走直线都打飘!用它迭曝?层数一多,任何一丁点套刻对准偏差,都会层层放大!误差累积下来,就是一场灾难!良率…会惨不忍睹!”



“我们没时间打磨设备了!”



袁涛的声音嘶哑,带着破釜沉舟的决绝。



“就用笨办法!堆层数!



一次对准误差可能超15nm,那我们就牺牲更大范围,用更繁琐的五层、甚至六层曝光!用设计冗余把线路加粗加宽!硬生生把平均套刻误差压下去!



靠工艺复杂性去逼近7nm的物理线宽!苏总,这是目前我们唯一可能够得着的路了!风险大我知道!失败几率超过九成我也知道!可总比现在原地等死强!”



所有目光都聚焦在沉默的苏定平身上。会议室的空气粘稠得如同铅汞。



苏定平看着投影屏上那张被标记为五层光刻掩模版、线条堆迭得如同乱麻、结构臃肿得如同拼凑补丁般的7nm测试芯片结构图。



那张图,就像个绝望者病急乱投医、强行制造出来的怪物!丑陋!低效!违背常规设计的简洁和高效美学!



但他更知道袁涛没说错。没有时间了!



“干!”



苏定平猛地一掌拍在桌子上,合金桌面发出

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