控屏上的数据和影像。
时间一分一秒过去。
当穿着无尘服的操作员小心翼翼地打开蚀刻腔,准备取出晶圆进行下一步操作时,他身旁,负责在线瑕疵扫描的工程师眼睛死死盯着面前的电子显微放大屏,脸色变得越来越难看。
“嘶……”
一声倒抽冷气的声音在操作员防护服内部响起。
“怎么了?”
苏定平不知何时已经站在了监控室外,隔着巨大的观察窗玻璃,敏锐地察觉到了气氛不对。
袁涛快步走了出来,脸色铁青中带着浓浓的疲惫和……愤怒!
他手里拿着一份新鲜出炉、还带着机器温度的质量检测报告,手指捏得纸张都变了形。
“苏总师……”
袁涛的声音带着一种无法抑制的颤音,一种被赤裸裸欺骗后的愤怒。
“良品率……最新的批次……只有……只有百分之十九点八!”
他几乎是咬着牙说出这个数字。
19。8!连20%都不到!
要知道,即便是业界技术相对成熟的8英寸线上生产250nm工艺芯片,良品率通常也有望达到60%-70%!
他们依靠原有的“龙脊”技术积累,加上龙心实验室突破性的工艺整合优化,最初几批小规模流片,良品率也摸到了43%的坎!大家加班加点改进,指望着冲到60%,结果呢?!
这数字竟像断了线的风筝一般,直坠深渊,跌破了20%的底线!
这对量产计划是毁灭性的打击!意味着生产成本剧增,交付时间无限期拖延!
“原因!”
苏定平的声音冰冷得像西伯利亚的冰川。
“初步判定……是……硅片基材的问题!”
袁涛猛地将报告拍在旁边的控制台上。
“苏定平!我们被耍了!雄鹰给的那批12英寸珍稀硅片,全他妈是回收翻新的工业垃圾!甚至是实验室报废品熔了重拉出来的次等货!”
他的声音带着技术工作者被亵渎专业和智慧的极致愤怒!
他指着旁边一个打开的、装着所谓“高端货”的特制硅片盒。
“你看这边缘色泽!正常超高纯硅片在切割后经过极致打磨和清洗,边缘应该呈现出一种深邃、近乎水晶镜面的光泽!但这批货的边缘打磨毛糙得像个新手干的活!而且整体色泽偏黄!”
袁涛的声音因为愤怒而拔高,充满了切齿的恨意。
“这是硅片内部氧化浓度过高的清晰证据!
他们掺了劣质的回收硅源!或者热处理氧化工艺根本没做到位!
这样的硅片内部充斥着非晶态区域、氧缺陷团簇、金属杂质浓度超标!用它做晶圆基板,上面的原子级微观晶体结构都是歪的!不稳固的!
在后续高温沉积、光刻、蚀刻等高能耗工序冲击下,这些缺陷会被十倍百倍地放大!直接撕裂原子级图形!良品率暴跌就是铁的证明!
这他妈就是一堆裹着糖衣的毒药!是
时间一分一秒过去。
当穿着无尘服的操作员小心翼翼地打开蚀刻腔,准备取出晶圆进行下一步操作时,他身旁,负责在线瑕疵扫描的工程师眼睛死死盯着面前的电子显微放大屏,脸色变得越来越难看。
“嘶……”
一声倒抽冷气的声音在操作员防护服内部响起。
“怎么了?”
苏定平不知何时已经站在了监控室外,隔着巨大的观察窗玻璃,敏锐地察觉到了气氛不对。
袁涛快步走了出来,脸色铁青中带着浓浓的疲惫和……愤怒!
他手里拿着一份新鲜出炉、还带着机器温度的质量检测报告,手指捏得纸张都变了形。
“苏总师……”
袁涛的声音带着一种无法抑制的颤音,一种被赤裸裸欺骗后的愤怒。
“良品率……最新的批次……只有……只有百分之十九点八!”
他几乎是咬着牙说出这个数字。
19。8!连20%都不到!
要知道,即便是业界技术相对成熟的8英寸线上生产250nm工艺芯片,良品率通常也有望达到60%-70%!
他们依靠原有的“龙脊”技术积累,加上龙心实验室突破性的工艺整合优化,最初几批小规模流片,良品率也摸到了43%的坎!大家加班加点改进,指望着冲到60%,结果呢?!
这数字竟像断了线的风筝一般,直坠深渊,跌破了20%的底线!
这对量产计划是毁灭性的打击!意味着生产成本剧增,交付时间无限期拖延!
“原因!”
苏定平的声音冰冷得像西伯利亚的冰川。
“初步判定……是……硅片基材的问题!”
袁涛猛地将报告拍在旁边的控制台上。
“苏定平!我们被耍了!雄鹰给的那批12英寸珍稀硅片,全他妈是回收翻新的工业垃圾!甚至是实验室报废品熔了重拉出来的次等货!”
他的声音带着技术工作者被亵渎专业和智慧的极致愤怒!
他指着旁边一个打开的、装着所谓“高端货”的特制硅片盒。
“你看这边缘色泽!正常超高纯硅片在切割后经过极致打磨和清洗,边缘应该呈现出一种深邃、近乎水晶镜面的光泽!但这批货的边缘打磨毛糙得像个新手干的活!而且整体色泽偏黄!”
袁涛的声音因为愤怒而拔高,充满了切齿的恨意。
“这是硅片内部氧化浓度过高的清晰证据!
他们掺了劣质的回收硅源!或者热处理氧化工艺根本没做到位!
这样的硅片内部充斥着非晶态区域、氧缺陷团簇、金属杂质浓度超标!用它做晶圆基板,上面的原子级微观晶体结构都是歪的!不稳固的!
在后续高温沉积、光刻、蚀刻等高能耗工序冲击下,这些缺陷会被十倍百倍地放大!直接撕裂原子级图形!良品率暴跌就是铁的证明!
这他妈就是一堆裹着糖衣的毒药!是
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