第1620章 从40nm到27nm的跨越
十几分钟后。
换上防护服的一行人跨过双层气密闸门，轻手轻脚地踏入到崭新设立的无尘测试间。
视线透过防护面罩的视窗，栾文杰几乎瞬间就捕捉到了房间中央那座巨型光学平台。
形似手术台却被放大数倍，其上密布着调整架、导轨与传感器接口，几束不同颜色的指示激光束在平台上方交错扫描，令人有些目眩。
平台周围，则是七八个身着连体式白色无尘服、头戴全封闭护具的忙碌身影。
张汝宁，还有他的团队。
大部分人都沉浸在自己的任务里，对身后气密门的开启与访客的到来浑然不觉。
只有坐在主控电脑前的何修军此时任务较轻，眼角余光瞥见了气密门开启的微弱指示灯变化，以及随后鱼贯而入的常浩南众人。
他下意识地要起身，但动作刚到一半，就看到常浩南隔着面罩对他压了压手掌，示意继续工作。
何修军立刻会意，强行按捺住心中的惊异，重新将注意力聚焦到屏幕上跳动的数据和波形图上。
直到大约二十分钟后，伴随着仪器发出一阵清脆的提示音，控制台上的最后一组指示灯随之由红转绿。
张汝宁如释重负地舒了口气，肩膀微微松弛下来。
然后习惯性地转身，准备招呼大家短暂休息。
然而，这一转身，整个人瞬间就僵住了。
几米开外，正伫立着几个身影。
跟他们一样，都穿着封闭的白色无尘服。
由于面罩的存在，看不太清楚面孔。
只能从体型和动作习惯中分辨出，为首二人中的左边那位，应该是常浩南。
至于剩下几人，则不像是火炬实验室的成员。
“常院士？”
张汝宁的声音透过面罩，显得有些瓮声瓮气，但还是能听出明显的错愕，眼神也在几人之间游移不定。
栾文杰倒是知道眼前就是常驻火炬实验室进行系统研发的长光集团技术团队，但因为同样的原因，也分不清其中谁是谁。
好在常浩南及时开口，向二人分别介绍了对方的身份。
这下，栾文杰总算有了精确的目标，上前几步来到张汝宁面前，主动跟他握了握手。
而后者在听过刚才的介绍之后，就已经脑子嗡的一声愣住。
工建委一把手！
他下意识地就想说些“欢迎领导视察指导”之类的场面话，但到了嘴边却又猛地卡住——
眼下可是在火炬实验室的地盘上，自己身为临时来此工作的合作方，做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。
结果僵在原地，一时不知如何是好。
一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。
“栾主任，刚刚被提升起来的那两个模组，就是我们专门给SMEE ArF-1800光刻机研发的物镜系统，还有作为对照组的ArF-1500物镜”
十几分钟后。
换上防护服的一行人跨过双层气密闸门，轻手轻脚地踏入到崭新设立的无尘测试间。
视线透过防护面罩的视窗，栾文杰几乎瞬间就捕捉到了房间中央那座巨型光学平台。
形似手术台却被放大数倍，其上密布着调整架、导轨与传感器接口，几束不同颜色的指示激光束在平台上方交错扫描，令人有些目眩。
平台周围，则是七八个身着连体式白色无尘服、头戴全封闭护具的忙碌身影。
张汝宁，还有他的团队。
大部分人都沉浸在自己的任务里，对身后气密门的开启与访客的到来浑然不觉。
只有坐在主控电脑前的何修军此时任务较轻，眼角余光瞥见了气密门开启的微弱指示灯变化，以及随后鱼贯而入的常浩南众人。
他下意识地要起身，但动作刚到一半，就看到常浩南隔着面罩对他压了压手掌，示意继续工作。
何修军立刻会意，强行按捺住心中的惊异，重新将注意力聚焦到屏幕上跳动的数据和波形图上。
直到大约二十分钟后，伴随着仪器发出一阵清脆的提示音，控制台上的最后一组指示灯随之由红转绿。
张汝宁如释重负地舒了口气，肩膀微微松弛下来。
然后习惯性地转身，准备招呼大家短暂休息。
然而，这一转身，整个人瞬间就僵住了。
几米开外，正伫立着几个身影。
跟他们一样，都穿着封闭的白色无尘服。
由于面罩的存在，看不太清楚面孔。
只能从体型和动作习惯中分辨出，为首二人中的左边那位，应该是常浩南。
至于剩下几人，则不像是火炬实验室的成员。
“常院士？”
张汝宁的声音透过面罩，显得有些瓮声瓮气，但还是能听出明显的错愕，眼神也在几人之间游移不定。
栾文杰倒是知道眼前就是常驻火炬实验室进行系统研发的长光集团技术团队，但因为同样的原因，也分不清其中谁是谁。
好在常浩南及时开口，向二人分别介绍了对方的身份。
这下，栾文杰总算有了精确的目标，上前几步来到张汝宁面前，主动跟他握了握手。
而后者在听过刚才的介绍之后，就已经脑子嗡的一声愣住。
工建委一把手！
他下意识地就想说些“欢迎领导视察指导”之类的场面话，但到了嘴边却又猛地卡住——
眼下可是在火炬实验室的地盘上，自己身为临时来此工作的合作方，做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。
结果僵在原地，一时不知如何是好。
一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。
“栾主任，刚刚被提升起来的那两个模组，就是我们专门给SMEE ArF-1800光刻机研发的物镜系统，还有作为对照组的ArF-1500物镜”
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