“太稳了……”一位长光的光学工程师忍不住低声惊叹。
栗亚波对这个结果早有预估，但真到了亲眼所见的时候，还是忍不住挂上了一抹笑容——
如果这个成果顺利投入应用，那么就连自己的院士头衔，都可以提上议事日程了。
正常情况下，一门双院士这种事，一般都是老师在哪个院，学生就在哪个院。
但他的老师同时身兼双院院士。
哎呀，到时候该怎么选呢？
真是个令人感到痛苦的抉择呢……
……
就在栗亚波已经忍不住想入非非的时候，何修军带着激动的声音传来：
“数据出来了！”
他恨不得把头塞进屏幕里：
“相比基准波长，系统波前的RMS值（均方根值）上升了……不到0.15！”
实际应用中，DUV光源的宽度很窄，不可能囊括从486.1nm到193nm这么宽的范围。
因此这个数值换算到光刻机上面，就已经是非常优秀的结果了。
身后的另一名工程师直接一哆嗦：
“这……这比我们之前任何一套全折射或折反式系统在这个波段的稳定性都要好得多！”
张汝宁紧抿着嘴唇，没有说话，但紧握的拳头微微松开，肩膀也耷拉下去不少。
不过，还不到可以彻底放松的时候。
电脑屏幕上，ArF波长下的干涉条纹依旧清晰可辨。
虽然比长波长时略粗了一些，但整体形态保持良好没有灾难性的崩溃。
“提取泽尔尼克系数，重点分析离焦项Z4！”
张汝宁语速加快。
泽尔尼克系数是量化光学系统像差的标准数学工具。
其中Z4项，就代表了离焦，这正是由色散差导致的核心像差之一。
何修军熟练地操作软件，对当前的干涉图样进行高速采集和分析。
十几秒钟后，结果跳出！
“Z4值是……-0.042λ。”
何修军的声音由于兴奋而显得尖锐：
“对比我们之前最成功的消色散方案，这套三透镜系统在同等焦距下的实测Z4值减少了差不多三分之一……”
减少三分之一，这很重要。
但还不是最重要的。
“而且，”张汝宁补充道，“这套系统的体积，只有传统消色散组件的不到五分之一！”
更紧凑的体积和更简单的结构，相当于给物镜组的其它部分留出了更高的自由度。
显然，他们成功了。
这不仅仅是数据的胜利。
还是为突破ASML在光刻技术上的封锁，打开了一扇充满希望的窗……
不对。
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