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他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案!
这位常院士的口气,未免太大了些。
不过,他倒也不至于表露出来,只是点了点头:“那我们就客随主便听常院士您安排就是。”
常浩南也看出了对方的小情绪,但只是起身,做了个请的手势:
“二位跟我来。”
张汝宁和吴明翰对视一眼,都看到了对方眼中的疑惑。
对方强调两个人,那意思当然是不能带随行人员。
好在这是国内,倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。
于是两人将随行人员留在会议室,只身跟随常浩南,深入到了火炬实验室的地下测试中心。
刚一踏进测试大厅,张汝宁的目光就被吸引住了。
“这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪?精度能达到亚微米级了!”
他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备,如同看到稀世珍宝。
如果不是有一层窗户挡着,怕是要上手摸一摸。
“还有这台,同步辐射光源的小角散射装置……”
“Talysurf PRO+表面轮廓仪……”
“……”
张汝宁的语气充满惊叹。
“这些设备的投入,简直难以想象!”
他本人的课题组建立较早,不少设备已经并非最新型号。
而长光集团毕竟是个企业,要考虑投入产出比的问题,不可能无限制地追逐新款。
常浩南微微一笑,并未在此多作停留。
“张研究员见多识广。不过,今天的重点不是这些。”
他引着二人,径直走向测试中心一个相对僻静的角落。
那里摆放着一台看起来相当“朴素”的光路演示仪。
仪器主体就是一个带有精密位移台的黑色光学平台,上面固定着光源、几个调整架和一个观察端口。
平台旁边连接着控制电脑和显示器。
但此时正关着机。
栗亚波早已在此等候。
张汝宁快走几步,饶有兴致地凑近光路仪。
他本以为会看到一组结构复杂、镜片林立的实验性物镜原型。
然而,当他来到跟前时,却发现光学平台中央的调整架上,只固定着孤零零的一个光学元件。
一片厚度大约几个毫米的、长方形的……
镜片?
它被小心翼翼地夹持在一个特制的夹具中,表面平整如新。
但无论怎么看,这都只是一片平面镜而已。
“常院士,这是……”张汝宁疑惑地看向常浩南,又看看同样一脸茫然的吴明翰。
他完全无法理解,这片看似普通的平面镜,
他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案!
这位常院士的口气,未免太大了些。
不过,他倒也不至于表露出来,只是点了点头:“那我们就客随主便听常院士您安排就是。”
常浩南也看出了对方的小情绪,但只是起身,做了个请的手势:
“二位跟我来。”
张汝宁和吴明翰对视一眼,都看到了对方眼中的疑惑。
对方强调两个人,那意思当然是不能带随行人员。
好在这是国内,倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。
于是两人将随行人员留在会议室,只身跟随常浩南,深入到了火炬实验室的地下测试中心。
刚一踏进测试大厅,张汝宁的目光就被吸引住了。
“这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪?精度能达到亚微米级了!”
他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备,如同看到稀世珍宝。
如果不是有一层窗户挡着,怕是要上手摸一摸。
“还有这台,同步辐射光源的小角散射装置……”
“Talysurf PRO+表面轮廓仪……”
“……”
张汝宁的语气充满惊叹。
“这些设备的投入,简直难以想象!”
他本人的课题组建立较早,不少设备已经并非最新型号。
而长光集团毕竟是个企业,要考虑投入产出比的问题,不可能无限制地追逐新款。
常浩南微微一笑,并未在此多作停留。
“张研究员见多识广。不过,今天的重点不是这些。”
他引着二人,径直走向测试中心一个相对僻静的角落。
那里摆放着一台看起来相当“朴素”的光路演示仪。
仪器主体就是一个带有精密位移台的黑色光学平台,上面固定着光源、几个调整架和一个观察端口。
平台旁边连接着控制电脑和显示器。
但此时正关着机。
栗亚波早已在此等候。
张汝宁快走几步,饶有兴致地凑近光路仪。
他本以为会看到一组结构复杂、镜片林立的实验性物镜原型。
然而,当他来到跟前时,却发现光学平台中央的调整架上,只固定着孤零零的一个光学元件。
一片厚度大约几个毫米的、长方形的……
镜片?
它被小心翼翼地夹持在一个特制的夹具中,表面平整如新。
但无论怎么看,这都只是一片平面镜而已。
“常院士,这是……”张汝宁疑惑地看向常浩南,又看看同样一脸茫然的吴明翰。
他完全无法理解,这片看似普通的平面镜,
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