~1的空气,改成n= 1.44的水(对应波长为193纳米光),形同将波长等效缩小为134纳米。这样就解决了这个最根本的波长问题。”



“这个技术呼声最高的是飞利浦,英特尔,卡尔蔡司,这些EUV-LLC联盟成员。因为一旦成功,ASML的市场份额就会从全球第二,进入全球第一,而且把Nikon和Canon甩开一个断层。不过这个技术上的难题依然很多,同样是即使投入大量的资源,也不能说就一定可以研发成功。”(3/3)

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