将新拿下的订单汇总告知孙德茂之后,林默出门走向芯片车间,



芯片车间大门是两扇对开的铝合金门,上方挂着一块白底蓝字的标识牌“芯片车间(洁净区),非授权人员禁止入内”。



林默伸手推开侧面的小门,经过风淋室,熟练地踩上粘尘垫,双臂平举转了两圈,让高速气流把身上可能附着的灰尘吹扫干净。



然后换上鞋套,推开第二道门,走进车间内部。



整层楼面被打通成一个完整的洁净区域,地面铺设了浅灰色的防静电水磨石。



头顶的送风口每隔两米一个,正以低速稳定的气流,向下输送经过高效过滤的洁净空气。



靠墙一侧排着一列浅蓝色的设备机柜,柜体侧面的指示灯在有序地闪烁。



车间正中是光刻机的工作平台,一台灰白色的步进式投影光刻机占据了大约四平方米的地面,机体表面贴着一行日文铭牌,旁边连着复杂的冷却管路和真空管线。



光刻机侧面是一台自动涂胶显影一体机,机械臂在防护罩内缓缓移动,正在进行空载试运行的轨迹标定。



车间里只有三四个人,穿着统一的白色防静电服,帽子罩住头发,口罩遮住下半张脸,只剩眼睛露在外面。



小周站在光刻机旁边,手里拿着一本翻到中间的设备日志,一抬头就看见了林默站在门口,立刻合上日志,快步走了过来。



他额角有一层细密的汗珠,显然已经在里面忙了一整个下午了。



“厂长!您怎么过来了?”



小周走近几步,笑着问道。



林默扫了一圈车间里的设备布局,目光在光刻机和旁边正在闪烁的涂胶显影机之间来回移动了一下。



“刚打完几通电话,新产品订单基本落地了,想着没事就过来看看这边的情况。”



“你们这里怎么样?设备方面有没有遇到什么问题?”



“目前设备基本上都到了。”



小周翻开手里的设备日志,手指顺着一条标注着日期的条目往下滑。



“前端的光刻机和涂胶显影一体机已经完成了安装,目前正在做空载和带载的联合调试,后端的刻蚀机出了一点小问题。”



说着,小周朝车间靠里的方向指了一下,“钱工正在处理,我在前端盯这台涂胶显影机和光刻机的参数匹配,跟他打配合。”



小周压低了一点声音,“厂长,小日子的工程师特别不好说话,坚持说设备已经调试完毕了,但钱工测出来的刻蚀均匀性数据跟规格书对不上,两边正掰扯呢。”



林默点了点头,没有立刻往那边去。



他一边往前走,一边偏过头看了看小周:“最近学得怎么样了?这套设备的流程有没有搞明白?”



小周挠了挠后脑勺,语气里带了一层不好意思:



“厂长,说实话,目前只搞懂了一部分。”



“光刻机的光学对准和曝光参数倒是摸到一点门道了,但后面的刻蚀和沉积那两块,涉及到的工艺气体和等离子体反应,我还在看资料。”



“白天上班的时候跟在钱工后面看实操,晚上回到宿舍翻他给我列的那几本参考书

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