正文 第307章 初光测试成功
随着周局长的指令下达，会议室墙壁上的广播里，传来了下方实验室主控台的清晰回音。
“各单位注意，初光测试正式启动。”贺建国手持对讲机，声音沉稳，但微微发紧。
“光源系统启动，193纳米激光器预热完毕，输出功率稳定在60瓦。”
“深紫外物镜系统自检通过，镜片温控正常，应力消除完毕。”
“超精密双工作台就位，X、Y轴干涉仪校准完成，晶圆台与掩膜台同步锁定。”
一系列生涩冷硬的工业指令在实验室内回荡。
会议室玻璃幕墙前，周局长、林副部长、科技部高层，以及许晨和陈立峰，所有人都不自觉地屏住了呼吸。
没有人交头接耳，目光死死盯着下方那台庞大的机械巨兽。
“上片。”贺建国下达指令。
机械臂精准地夹起一片涂满高分子光刻胶的十二英寸硅片，平稳地送入机器内部的工作台上。
“对准系统锁定。”
“开始曝光！”
贺建国重重按下了操作台上的主控按钮。
嗡——
一声极具穿透力的低频震动声在实验室底座响起。
天卓精密研发的双工作台开始以肉眼难以捕捉的极高加速度进行纳米级别的移动。
与此同时，顶端的光源模块瞬间激发。
193纳米的深紫外激光穿过极其复杂的光路调节系统，射入造价数亿的长天物镜组。庞大的光束被极度压缩，化作无形的刻刀，按照掩膜版上的电路图纸，精准地劈在下方高速移动的硅片上。
整个曝光过程持续了不到两分钟。
但在会议室里的众人看来，这两分钟却比一年还要漫长。周局长端着茶杯的手停在半空，一动不动；林副部长眉头紧锁，眼神紧绷。许晨面色平静，但身侧微微握紧的拳头还是暴露了他内心的波澜。
“曝光结束。晶圆下片。”
随着机器的提示音，机械臂将曝光完成的硅片取出，迅速送入一旁的显影液槽中进行定影处理。
几分钟后，显影完毕的硅片被直接送到了实验室最核心的量测设备——高分辨扫描电子显微镜（SEM）的操作台上。
贺建国亲自坐到了显微镜前，双手握住操作杆，将硅片表面的微观图像投射到实验室的中央大屏幕上，同时会议室的屏幕也同步接入了画面。
画面不断放大。一万倍、五万倍、十万倍。
原本平滑的硅片表面，此刻显现出了一道道极其密集、平行的沟壑。这些就是激光在光刻胶上雕刻出的电路蚀刻线。
贺建国的手指在键盘上快速敲击，调出测量工具，将两条红色的基准线卡在了一条沟壑的两端。
滴。
屏幕右上角，一个绿色的测量数据跳了出来。
【线宽：64.7 nm】
不仅达到了65纳米的标准，而且线条边缘极其锐利，没有丝毫的毛刺、晕染和断层，曝光均匀度堪称完美。
“各单位注意，初光测试正式启动。”贺建国手持对讲机，声音沉稳，但微微发紧。
“光源系统启动，193纳米激光器预热完毕，输出功率稳定在60瓦。”
“深紫外物镜系统自检通过，镜片温控正常，应力消除完毕。”
“超精密双工作台就位，X、Y轴干涉仪校准完成，晶圆台与掩膜台同步锁定。”
一系列生涩冷硬的工业指令在实验室内回荡。
会议室玻璃幕墙前，周局长、林副部长、科技部高层，以及许晨和陈立峰，所有人都不自觉地屏住了呼吸。
没有人交头接耳，目光死死盯着下方那台庞大的机械巨兽。
“上片。”贺建国下达指令。
机械臂精准地夹起一片涂满高分子光刻胶的十二英寸硅片，平稳地送入机器内部的工作台上。
“对准系统锁定。”
“开始曝光！”
贺建国重重按下了操作台上的主控按钮。
嗡——
一声极具穿透力的低频震动声在实验室底座响起。
天卓精密研发的双工作台开始以肉眼难以捕捉的极高加速度进行纳米级别的移动。
与此同时，顶端的光源模块瞬间激发。
193纳米的深紫外激光穿过极其复杂的光路调节系统，射入造价数亿的长天物镜组。庞大的光束被极度压缩，化作无形的刻刀，按照掩膜版上的电路图纸，精准地劈在下方高速移动的硅片上。
整个曝光过程持续了不到两分钟。
但在会议室里的众人看来，这两分钟却比一年还要漫长。周局长端着茶杯的手停在半空，一动不动；林副部长眉头紧锁，眼神紧绷。许晨面色平静，但身侧微微握紧的拳头还是暴露了他内心的波澜。
“曝光结束。晶圆下片。”
随着机器的提示音，机械臂将曝光完成的硅片取出，迅速送入一旁的显影液槽中进行定影处理。
几分钟后，显影完毕的硅片被直接送到了实验室最核心的量测设备——高分辨扫描电子显微镜（SEM）的操作台上。
贺建国亲自坐到了显微镜前，双手握住操作杆，将硅片表面的微观图像投射到实验室的中央大屏幕上，同时会议室的屏幕也同步接入了画面。
画面不断放大。一万倍、五万倍、十万倍。
原本平滑的硅片表面，此刻显现出了一道道极其密集、平行的沟壑。这些就是激光在光刻胶上雕刻出的电路蚀刻线。
贺建国的手指在键盘上快速敲击，调出测量工具，将两条红色的基准线卡在了一条沟壑的两端。
滴。
屏幕右上角，一个绿色的测量数据跳了出来。
【线宽：64.7 nm】
不仅达到了65纳米的标准，而且线条边缘极其锐利，没有丝毫的毛刺、晕染和断层，曝光均匀度堪称完美。
本章未完，点击下一页继续阅读
(1/3)