《自律就变帅！高冷校花绷不住了！》 第542章 三位院士，集体签字！
果，距离真正能投入芯片制造的工程应用，还有多远？”
老梁下意识坐直了些，这问题可不简单。
讲成果容易，讲成果的边界才见本事。
尤其年轻人，最容易一高兴就把话说满。
陈知远却几乎没有思考。
“还很远。”
会议室里安静了一瞬。
评审专家抬了抬眉毛。
陈知远接着说道：“这次证明的是，现有原型平台在规定工况下，能够让不同系统协同完成多轮对准曝光，而且结果有重复性。”
“但离真正连续制造可用芯片，还隔着不少问题，光源长期稳定性、整机可靠性、曝光效率、工艺窗口、最终良率……这些都不是三片测试晶圆能回答的。”
他说着，翻到报告后面。
“所以我们也没把它写成量产突破，现在完成的是阶段目标，接下来才是把‘能做出来’一步步推向‘能稳定、有效率地做出来’。”
那位专家点了点头。
“如果让你选下一阶段最值得优先投入的方向呢？”
“先把影响持续运行的限制找准，再决定资源怎么分。”
陈知远指了指屏幕上另一张图。
“上轮攻关最有价值的，不只是把验证提前了多久，而是把几组原来分开看的数据统一起来了，下一阶段我想保留这套协同机制，尤其是测量、控制和工艺验证之间的反馈。”
“有些问题，单看一个子系统，永远都得不出准确结论。”
专家看着他，继续追问了两句。
陈知远没有绕，也没有不懂装懂。
哪项数据已经验证，哪项还只是假设，他分得很清楚。
最让那位专家意外的，是陈知远回答时没有半点急于证明自己的意思。
这个年轻人似乎根本不在乎被问住会不会丢面子。
他只在乎问题本身。
“我没有其他问题了。”
专家放下笔，笑了笑。
“原先看你的履历，我还以为这份报告里的‘技术统筹’多少有点培养年轻人的意思，现在看来，是我想得简单了。”
周启山坐在旁边，终于忍不住笑出声。
“我当初也没敢一下子给他这么大的担子。”
“那后来呢？”
“后来？”
周启山指了指屏幕上的检测结论。
“后来这小子拿成绩逼着我给。”
会议室里响起一阵笑声。
老梁笑得尤其大声。
只有他知道，这话一点儿也不夸张。
评审又持续了一个多小时。
最终，独立评审组形成一致意见。
国产EUV原型平台本轮整机集成验证，达到事先确定的
老梁下意识坐直了些，这问题可不简单。
讲成果容易，讲成果的边界才见本事。
尤其年轻人，最容易一高兴就把话说满。
陈知远却几乎没有思考。
“还很远。”
会议室里安静了一瞬。
评审专家抬了抬眉毛。
陈知远接着说道：“这次证明的是，现有原型平台在规定工况下，能够让不同系统协同完成多轮对准曝光，而且结果有重复性。”
“但离真正连续制造可用芯片，还隔着不少问题，光源长期稳定性、整机可靠性、曝光效率、工艺窗口、最终良率……这些都不是三片测试晶圆能回答的。”
他说着，翻到报告后面。
“所以我们也没把它写成量产突破，现在完成的是阶段目标，接下来才是把‘能做出来’一步步推向‘能稳定、有效率地做出来’。”
那位专家点了点头。
“如果让你选下一阶段最值得优先投入的方向呢？”
“先把影响持续运行的限制找准，再决定资源怎么分。”
陈知远指了指屏幕上另一张图。
“上轮攻关最有价值的，不只是把验证提前了多久，而是把几组原来分开看的数据统一起来了，下一阶段我想保留这套协同机制，尤其是测量、控制和工艺验证之间的反馈。”
“有些问题，单看一个子系统，永远都得不出准确结论。”
专家看着他，继续追问了两句。
陈知远没有绕，也没有不懂装懂。
哪项数据已经验证，哪项还只是假设，他分得很清楚。
最让那位专家意外的，是陈知远回答时没有半点急于证明自己的意思。
这个年轻人似乎根本不在乎被问住会不会丢面子。
他只在乎问题本身。
“我没有其他问题了。”
专家放下笔，笑了笑。
“原先看你的履历，我还以为这份报告里的‘技术统筹’多少有点培养年轻人的意思，现在看来，是我想得简单了。”
周启山坐在旁边，终于忍不住笑出声。
“我当初也没敢一下子给他这么大的担子。”
“那后来呢？”
“后来？”
周启山指了指屏幕上的检测结论。
“后来这小子拿成绩逼着我给。”
会议室里响起一阵笑声。
老梁笑得尤其大声。
只有他知道，这话一点儿也不夸张。
评审又持续了一个多小时。
最终，独立评审组形成一致意见。
国产EUV原型平台本轮整机集成验证，达到事先确定的
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