《自律就变帅!高冷校花绷不住了!》 第541章 终于对上了!
周启山看向陈知远。
“开始?”
“开始吧。”
陈知远点头。
设备按程序运转。
没有惊天动地的声响,也没有什么炫目的光芒。
控制室里,只有一行行平静变化的状态数据。
可在场的每个人,都知道今天这场测试意味着什么。
他们不再只是证明设备能把图形印出来。
他们要证明,在预定的受控条件下,原型平台能够把不同曝光层一次又一次准确地对到一起。
第一片测试晶圆完成曝光,送去检测。
等待的时候,老梁想喝口水,拧开杯子才发现里面早空了。
“你紧张什么?”陈知远瞥了他一眼。
“废话。”老梁把杯子放下,“你小子倒是坐得住。”
陈知远笑了笑。
他当然也期待结果。
只不过,能做的工作都已经做到位了,剩下的就交给数据。
约莫半小时后,计量组的电话来了。
负责人拿着报告快步走进控制室。
“第一片,符合预定指标!”
老梁腾地站了起来。
有人已经忍不住笑出声。
周启山却抬了抬手。
“别急,还有后面两片。”
第一片成功,值得高兴。
但他们今天要的,从来不是一次运气好的结果。
第二片送检。
等待。
“第二片也通过了!”
这次,就连周启山握着保温杯的手,都不自觉收紧了几分。
控制室里几个人互相看了看,谁也没再说笑。
第三片。
时间似乎变得格外慢。
负责计量的老工程师姓罗,大家平时都叫他罗工。
他在相关精密装备项目里干了十几年,最清楚一份漂亮的图,和一份经得起复核的结果之间差着多少事。
检测台前,年轻同事已经盯得眼睛发酸。
“罗工,数据出来了。”
老罗接过结果,先核对样片编号,又检查检测条件。
接着,他把几个关键位置的记录重新看了一遍。
没有临时改口径。
没有排除不合格区域。
第三片样片,同样满足这轮预先确定的阶段验证要求。
老罗把报告放在桌上,手掌压着纸面,半天没动。
“师傅?”年轻同事喊了他一声。
老罗吸了口气。
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