周启山看向陈知远。



“开始?”



“开始吧。”



陈知远点头。



设备按程序运转。



没有惊天动地的声响,也没有什么炫目的光芒。



控制室里,只有一行行平静变化的状态数据。



可在场的每个人,都知道今天这场测试意味着什么。



他们不再只是证明设备能把图形印出来。



他们要证明,在预定的受控条件下,原型平台能够把不同曝光层一次又一次准确地对到一起。



第一片测试晶圆完成曝光,送去检测。



等待的时候,老梁想喝口水,拧开杯子才发现里面早空了。



“你紧张什么?”陈知远瞥了他一眼。



“废话。”老梁把杯子放下,“你小子倒是坐得住。”



陈知远笑了笑。



他当然也期待结果。



只不过,能做的工作都已经做到位了,剩下的就交给数据。



约莫半小时后,计量组的电话来了。



负责人拿着报告快步走进控制室。



“第一片,符合预定指标!”



老梁腾地站了起来。



有人已经忍不住笑出声。



周启山却抬了抬手。



“别急,还有后面两片。”



第一片成功,值得高兴。



但他们今天要的,从来不是一次运气好的结果。



第二片送检。



等待。



“第二片也通过了!”



这次,就连周启山握着保温杯的手,都不自觉收紧了几分。



控制室里几个人互相看了看,谁也没再说笑。



第三片。



时间似乎变得格外慢。



负责计量的老工程师姓罗,大家平时都叫他罗工。



他在相关精密装备项目里干了十几年,最清楚一份漂亮的图,和一份经得起复核的结果之间差着多少事。



检测台前,年轻同事已经盯得眼睛发酸。



“罗工,数据出来了。”



老罗接过结果,先核对样片编号,又检查检测条件。



接着,他把几个关键位置的记录重新看了一遍。



没有临时改口径。



没有排除不合格区域。



第三片样片,同样满足这轮预先确定的阶段验证要求。



老罗把报告放在桌上,手掌压着纸面,半天没动。



“师傅?”年轻同事喊了他一声。



老罗吸了口气。

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