《自律就变帅！高冷校花绷不住了！》 第541章 终于对上了！
联合攻关第二十七天。
上午九点，整机测试中心。
老梁把最新一份检测报告拍在桌上，盯着那几处标红的数据，眉头拧得能夹死蚊子。
“又是这里。”
第一轮完整曝光链路跑通以后，他们没有停下来庆祝。
二十天里，设备窗口几乎排得满满当当。
光源、反射光学、工件台、计量控制，每个组都拿出了实打实的改进。
如今，连续完成多轮对准曝光已经不是难题。
真正麻烦的是，印出来的图形，有些区域对得很准，有些区域却总要偏上一点。
同一片晶圆，中心位置漂亮，边缘几处却总过不了预定的阶段标准。
“只剩三天了。”老梁揉了揉眉心，“再这么试下去，怕是真得延期。”
坐在旁边的计量组负责人没反驳。
谁也不愿意延期。
可技术这东西，不是喊两句口号就能变好的。
更何况，三十天的期限是他们自己定的。
做不到照实汇报就是了，没人会拿设备安全和检测数据开玩笑。
陈知远却没接话。
他正翻着过去几轮的晶圆检测结果。
一张，两张，三张。
几组分布图在屏幕上来回切换。
忽然，他停住了。
“梁老师，把这三张叠到一起。”
“嗯？”
“再加上各自曝光之前的晶圆形貌测量。”
老梁没多问，直接招呼人调数据。
几分钟后，一张新的对照图出现在屏幕上。
陈知远伸手点了点右上角。
“看这里。”
老梁凑过去：“这不是之前那几处对不准的地方吗？”
“对，但你看它们偏的方向。”
陈知远把其中一张图放大，又将另一组测量数据移到旁边。
“我们一直按整片晶圆的统一基准去修正位置，可这些偏差不是整片一起往一个方向跑。”
“部分区域的形貌变化不同，原来的统一校正把一些地方修好了，也把另一些地方带偏了。”
计量组负责人听到这里，表情慢慢变了。
他盯着屏幕，过了好几秒才道：“你是说，我们缺的不是再提高一次全局定位精度，而是把分区域的误差单独考虑进去？”
“至少这几组记录支持这个方向。”
陈知远点头。
在【真理之眼】的帮助下，那些分散在不同测试批次中的细微差异，像被一根看不见的线串了起来。
这不是凭空冒出来的答案。
过去二十多天，几家研究所的技术资料、设备记录和检测报告，他几乎
上午九点，整机测试中心。
老梁把最新一份检测报告拍在桌上，盯着那几处标红的数据，眉头拧得能夹死蚊子。
“又是这里。”
第一轮完整曝光链路跑通以后，他们没有停下来庆祝。
二十天里，设备窗口几乎排得满满当当。
光源、反射光学、工件台、计量控制，每个组都拿出了实打实的改进。
如今，连续完成多轮对准曝光已经不是难题。
真正麻烦的是，印出来的图形，有些区域对得很准，有些区域却总要偏上一点。
同一片晶圆，中心位置漂亮，边缘几处却总过不了预定的阶段标准。
“只剩三天了。”老梁揉了揉眉心，“再这么试下去，怕是真得延期。”
坐在旁边的计量组负责人没反驳。
谁也不愿意延期。
可技术这东西，不是喊两句口号就能变好的。
更何况，三十天的期限是他们自己定的。
做不到照实汇报就是了，没人会拿设备安全和检测数据开玩笑。
陈知远却没接话。
他正翻着过去几轮的晶圆检测结果。
一张，两张，三张。
几组分布图在屏幕上来回切换。
忽然，他停住了。
“梁老师，把这三张叠到一起。”
“嗯？”
“再加上各自曝光之前的晶圆形貌测量。”
老梁没多问，直接招呼人调数据。
几分钟后，一张新的对照图出现在屏幕上。
陈知远伸手点了点右上角。
“看这里。”
老梁凑过去：“这不是之前那几处对不准的地方吗？”
“对，但你看它们偏的方向。”
陈知远把其中一张图放大，又将另一组测量数据移到旁边。
“我们一直按整片晶圆的统一基准去修正位置，可这些偏差不是整片一起往一个方向跑。”
“部分区域的形貌变化不同，原来的统一校正把一些地方修好了，也把另一些地方带偏了。”
计量组负责人听到这里，表情慢慢变了。
他盯着屏幕，过了好几秒才道：“你是说，我们缺的不是再提高一次全局定位精度，而是把分区域的误差单独考虑进去？”
“至少这几组记录支持这个方向。”
陈知远点头。
在【真理之眼】的帮助下，那些分散在不同测试批次中的细微差异，像被一根看不见的线串了起来。
这不是凭空冒出来的答案。
过去二十多天，几家研究所的技术资料、设备记录和检测报告，他几乎
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