开始吧。”



命令下达。



平台按照既定程序运行。



光源状态正常。



光学系统完成准备。



工件台进入指定位置。



控制室里很安静,只听得见工作人员不断确认状态的声音。



先前陈知远解决的那类动态漂移,这次没有再成为主要障碍。



可就在流程即将进入下一段动作时,控制台忽然弹出一行黄色提示。



“曝光准备条件未满足。”



操作人员立即按规程暂停了后续步骤。



老梁眉头一皱。



“刚才不都绿了吗?”



“别急。”陈知远已经走到屏幕前,“先保留记录,看看是哪个条件没满足。”



两位工程师迅速调出状态日志。



安全保护没有异常,设备也没有损坏。



问题出在整机状态确认上。



“光学系统这里已经报就绪了,工件台为什么没认?”



“它认了上一段的结果,下一段又重新校验了一次。”



陈知远顺着记录往前看,很快找到两套流程之间的衔接处。



“不是它没认。”



他指着屏幕。



“是两边各自等着对方先给下一步确认,设备没问题,流程卡在这里了。”



老梁听完,脸色顿时古怪起来。



“这不就是……互相等?”



“差不多。”



陈知远笑了笑。



“前几天排程表互相等,今天连设备也学会了。”



紧绷的气氛一下松了些。



不过笑归笑,谁也没敢随便跳过确认步骤。



相关负责人重新核查流程,按规定完成修改审批和复测,确认所有保护条件仍然有效后,才允许重新启动。



这一次,提示没有再出现。



一个个状态灯依次亮起。



控制室里所有人的目光,都集中到了最后一项进度上。



完整曝光流程,执行完成。



“完成了?”一个年轻研究员忍不住问。



老梁摆摆手。



“机器说完成不算,得看晶圆。”



测试样片随后被送往计量检测。



等待结果的那段时间,反而比刚才还难熬。



周启山站在控制室里,手中的茶早就凉了,也没喝一口。



终于,计量组的电话打了过来。



“周院士,第一批结果出来了。”



“说。”



“完整曝光链路执行正常,样片上检测到

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