《自律就变帅!高冷校花绷不住了!》 第540章 开始测试!
开始吧。”
命令下达。
平台按照既定程序运行。
光源状态正常。
光学系统完成准备。
工件台进入指定位置。
控制室里很安静,只听得见工作人员不断确认状态的声音。
先前陈知远解决的那类动态漂移,这次没有再成为主要障碍。
可就在流程即将进入下一段动作时,控制台忽然弹出一行黄色提示。
“曝光准备条件未满足。”
操作人员立即按规程暂停了后续步骤。
老梁眉头一皱。
“刚才不都绿了吗?”
“别急。”陈知远已经走到屏幕前,“先保留记录,看看是哪个条件没满足。”
两位工程师迅速调出状态日志。
安全保护没有异常,设备也没有损坏。
问题出在整机状态确认上。
“光学系统这里已经报就绪了,工件台为什么没认?”
“它认了上一段的结果,下一段又重新校验了一次。”
陈知远顺着记录往前看,很快找到两套流程之间的衔接处。
“不是它没认。”
他指着屏幕。
“是两边各自等着对方先给下一步确认,设备没问题,流程卡在这里了。”
老梁听完,脸色顿时古怪起来。
“这不就是……互相等?”
“差不多。”
陈知远笑了笑。
“前几天排程表互相等,今天连设备也学会了。”
紧绷的气氛一下松了些。
不过笑归笑,谁也没敢随便跳过确认步骤。
相关负责人重新核查流程,按规定完成修改审批和复测,确认所有保护条件仍然有效后,才允许重新启动。
这一次,提示没有再出现。
一个个状态灯依次亮起。
控制室里所有人的目光,都集中到了最后一项进度上。
完整曝光流程,执行完成。
“完成了?”一个年轻研究员忍不住问。
老梁摆摆手。
“机器说完成不算,得看晶圆。”
测试样片随后被送往计量检测。
等待结果的那段时间,反而比刚才还难熬。
周启山站在控制室里,手中的茶早就凉了,也没喝一口。
终于,计量组的电话打了过来。
“周院士,第一批结果出来了。”
“说。”
“完整曝光链路执行正常,样片上检测到
命令下达。
平台按照既定程序运行。
光源状态正常。
光学系统完成准备。
工件台进入指定位置。
控制室里很安静,只听得见工作人员不断确认状态的声音。
先前陈知远解决的那类动态漂移,这次没有再成为主要障碍。
可就在流程即将进入下一段动作时,控制台忽然弹出一行黄色提示。
“曝光准备条件未满足。”
操作人员立即按规程暂停了后续步骤。
老梁眉头一皱。
“刚才不都绿了吗?”
“别急。”陈知远已经走到屏幕前,“先保留记录,看看是哪个条件没满足。”
两位工程师迅速调出状态日志。
安全保护没有异常,设备也没有损坏。
问题出在整机状态确认上。
“光学系统这里已经报就绪了,工件台为什么没认?”
“它认了上一段的结果,下一段又重新校验了一次。”
陈知远顺着记录往前看,很快找到两套流程之间的衔接处。
“不是它没认。”
他指着屏幕。
“是两边各自等着对方先给下一步确认,设备没问题,流程卡在这里了。”
老梁听完,脸色顿时古怪起来。
“这不就是……互相等?”
“差不多。”
陈知远笑了笑。
“前几天排程表互相等,今天连设备也学会了。”
紧绷的气氛一下松了些。
不过笑归笑,谁也没敢随便跳过确认步骤。
相关负责人重新核查流程,按规定完成修改审批和复测,确认所有保护条件仍然有效后,才允许重新启动。
这一次,提示没有再出现。
一个个状态灯依次亮起。
控制室里所有人的目光,都集中到了最后一项进度上。
完整曝光流程,执行完成。
“完成了?”一个年轻研究员忍不住问。
老梁摆摆手。
“机器说完成不算,得看晶圆。”
测试样片随后被送往计量检测。
等待结果的那段时间,反而比刚才还难熬。
周启山站在控制室里,手中的茶早就凉了,也没喝一口。
终于,计量组的电话打了过来。
“周院士,第一批结果出来了。”
“说。”
“完整曝光链路执行正常,样片上检测到
本章未完,点击下一页继续阅读
(3/5)