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工艺验证那边,则一直在等一个足够完整的连续测试窗口。



每个组都有自己的计划。



每个计划单独看,也都说得过去。



问题是,把它们排到一起,下一次完整的多轮对准曝光验证,竟然被排到了几个月以后。



“再快也得先把基础打牢。”一位负责人说道,“现在就强行联调,测试窗口可能都耗在排故上,最后各组自己的任务也耽误了。”



负责工艺验证的院士点了点头。



“风险确实有,样片做出来不难,难的是结果要能重复,还得经得起独立检测。”



光源方向的负责人接过话头。



“我们也不是不想配合,可我这边还有自己的节点,一旦整机联调占了设备,原来的安排就得往后挪。”



没人吵架。



他们都是干了几十年科研的人,当然知道轻重。



正因为每个人都在认真对待自己的任务,才更难轻易拍板。



周启山听完,正准备让人把几个窗口重新核算一遍。



“周院士。”



陈知远忽然开口。



几道目光同时落在他身上。



“我能不能说两句?”



“你说。”



陈知远看着投影上的进度表,忽然问了一个问题。



“我们现在缺的,到底是各个子系统再多一份漂亮的测试报告,还是一片真正通过整机验证的晶圆?”



会议室安静了一下。



一位负责人皱眉:“你的意思是?”



“每个组都在尽量把自己那部分做到最好,这没有错。”



陈知远拿起桌上的笔,指了指几处被分散安排的测试节点。



“可整机的问题,光靠各组分别把数据做漂亮,是找不全的。”



“就像前面那类动态漂移,光学组的记录没错,控制组的记录也没错,真正的问题,偏偏出在它们一起运行的时候。”



老梁听得连连点头。



这事他亲身经历过,太有发言权了。



陈知远继续道:“既然迟早要把它们放在一起,为什么不先拿现有平台,集中攻一次完整验证?”



负责工艺集成的院士抬起头。



“你说的完整验证,具体到什么程度?”



“在现有原型平台和安全边界内,完成一批多轮对准曝光测试晶圆。”



陈知远说得很清楚。



“要有重复样片,要有独立检测,不是拍一张成功的图,也不是做出一次偶然好看的结果。”



“这当然是我们想要的。”对方看着他,“问题是,你准备什么时候做?”



“一个月。”



三个字落下。



会议室里一下子安静了。



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