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他正低头翻看第三轮的记录。



“周院士。”



“怎么?”



“短时间的受控测试没问题,不代表连续运行也能保持这个效果。”



周启山看了他一眼,笑容更深了。



“想到一块儿去了。”



“我打算申请下一次长时间测试窗口,把负荷变化和不同运行节拍都加进去。那才是真正难啃的骨头。”



“可以。”陈知远合上报告,“不过我建议把工况变化一起纳入,别只在今天这个条件下重复跑。”



老梁听得直咧嘴。



“刚干成一件事,就准备给自己加难度?”



“早晚要测。”陈知远笑道,“现在模型哪里好用、哪里不好用,我心里反而更清楚,趁热打铁比较合适。”



周启山看着他,点了点头。



“行,就按这个方向准备。”



他拿起电话,通知整机测试组协调连续运行验证窗口。



放下手机时,屏幕上还并排显示着今天的三组结果。



4.5纳米。



1.8纳米。



百分之六十。



那不过是一项局部指标的改善,却是他们已经盼了很久的实实在在的进展。



而对陈知远来说,这还只是开始。



下一次,他们要面对的,将不再是短短一轮测试。



而是这台国产EUV光刻机在持续运行中,真正暴露出来的难题。(4/4)

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