可以,不过具体实现得各组一起做,我只负责关键方案和方向把关。”



周启山听得更满意了。



“当然,让你一个人把整台设备的活儿都干了,那我们这些人坐这里干什么?”



众人顿时笑了起来。



老梁也跟着笑,笑完却认真伸出手。



“陈知远,接下来就一起干吧。”



“梁老师,合作愉快。”



两人握了握手。



没有什么隆重仪式。



但就在这间工作室里,一项原本没有明确突破方向的任务,已经有了新的负责人和验证路线。



当天傍晚,第一版离线仿真结果出来了。



针对已经识别出的那部分偏移,采用新策略后的模拟结果明显比原方案更稳定。



当然,这还只是仿真。



距离真正装到设备上,中间还有安全检查、控制接口适配,以及受控条件下的测试。



可这份结果,已经足够让周启山作出决定。



他拿起电话,拨给整机测试负责人。



“明天的测试窗口,给我们留一段。”



“对,新的动态补偿方案。”



“先做受控验证,原有控制策略保留,任何指标越界就立即退出。”



挂断电话后,周启山看向陈知远。



“数据能对上,仿真也有改善,接下来,就该让机器说话了。”



陈知远望向屏幕上那条逐渐平稳的曲线,笑了笑。



“那就明天见真章。”



窗外,天色已经暗了下来。



而这台国产EUV光刻机,距离下一次真正的整机验证,只剩下一个晚上。(4/4)

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